招标详情
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400-688-2000
项目名称 MOCVD烤盘炉 | 项目编号 **** |
公告开始日期 2024-05-13 17:05:07 | 公告截止日期 2024-05-21 19:00:00 |
采购单位 **** | 付款方式 内贸部分:货到验收合格后付全款 |
联系人 | 联系电话 |
签约时间要求 | 到货时间要求 内贸部分:2024年08月 |
预算总价 ¥490000.00 |
发票要求 |
含税要求 |
送货要求 |
安装要求 |
收货地址 云谷校区 |
供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明 |
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
MOCVD烤盘炉 | 1 | 台 | |
品牌 |
型号 |
预算单价 ¥ 490000.00 |
技术参数及配置要求 1.设备安装空间应小于3m×3m×2.5m; 2.设备整体包括如下几个模块与子系统: 1)电气控制系统为PLC控制; 2)含冷却水系统; 3)进气系统和气体分配系统耐腐蚀; 4)预留接入尾气系统接口; 5)中高温加热器系统(400~1000℃); 6)气体侦测系统:可配置有害气体环境监控系统; 3.可通氯气 4.性能 1)分区加热;采用缠绕钨丝的方式; 2)适用直径规格:≥280mm的石墨托盘; 3)工作温度区间:400 ~1000℃; 4)工艺气体:N2和Cl2; 5)采用具有热稳定性的材料载片; |
参考链接 |
售后服务 质保期:1年;商品承诺:质保期后,只收取零配件费,不收取人工费; |