北京航空航天大学集成电路科学与工程学院12英寸晶圆传输模块部件

发布时间: 2024年05月28日
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***********公司企业信息
****2024年5至12月政府采购意向-****集****学院12英寸晶圆传输模块部件 详细情况
****集****学院12英寸晶圆传输模块部件
项目所在采购意向: ****2024年5至12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: ****集****学院12英寸晶圆传输模块部件
预算金额: 670.000000万元(人民币)
采购品目:
A****2499其他真空获得及应用设备,A****2404真空系统附件,A****2403真空检测设备,A****2401真空获得设备,A****2402真空应用设备
采购需求概况 :
拟采购用于12英寸晶圆传输模块的关键真空设备零部件一批,设备零部件包含半导体前端模块,真空泵组,定制真空传输腔体,真空密封件,真空计,阀门、晶圆台、校准机构、机械臂、晶圆定位传感器、流量计、客制化软件控制系统以及辅助支撑部件等。
预计采购时间: 2024-09
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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