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6寸探针台 | 1.0/台 | EoneSemi | EMP150-E | 1 6寸探针台EMP150-E 1、载物台微调XY行程:150x150mm,Z轴行程:10mm,移动分辨率为1um2、载物台采用多圈吸附环固定样品,真空吸附,真空开关独立控制,四个真空开关3、载物台尺寸:150mm,平整度: ±5μm, 粗调:360°无间隙旋转,微调±7°4、增大型platen台面,可以同时容纳6个直流探针座或4个射频针座5、Platen台面2点支撑,4个导轨滑动,重复性精度为2um6、含独立显示器支架2 探针座DMP80 XYZ移动范围:12.5mm x 12.5mm x 12.5mm移动精度:80TPI固定方式:磁吸3 探针臂CCH-1.5M-T 进口同轴线缆,一端为进口BNC公头线长为1.5m5 显微镜系统 含工业相机VGA 连接标准光学倍率0.7-4.5倍连续变焦电阻放大倍率42-270倍含显微镜光源,含10寸显示器6 真空泵VP125 日本进口真空泵静音无油,气流量:7L/Min | 按行业标准提供服务 |