金属有机化学气相沉积设备升级(JJ2024000071)采购公告

发布时间: 2024年06月12日
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项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
金属有机化学气相沉积设备升级****
2024-06-12 14:27:462024-06-15 16:00:00
****内贸:全部货物交货并最终验收合格后,乙方向甲方提供全额的正式发票(10万元以上的国产设备乙方必须提供全额的增值税专用发票),甲方凭验收合格材料向乙方支付100%的合同款。
内贸:合同签订后15个工作日内
¥280000.00
**科教园308

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
金属有机化学气相沉积设备升级 1 电子工业生产设备
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
**林科紫外
定制
¥ 280000.00
1. 反应室的改造: 需要将顶部的喷淋头与石墨基座的距离由目前的273mm,修改为30 mm。 主要部件: (1) 拆除旧反应器,安装新设计制作的反应器。 (2) 顶部气室,需要重新设计制造和加工。 (3) 喷淋头,重新设计,加工。 (4) 重新设计定制石英管2件。 (5) 外有机玻璃管需重新设计和加工。 (6) 上下铝环,重新设计加工。 (7) 连接顶部气室的进气管道改造。 (8) 顶部气室(包括喷淋头,两路进气管道改造)1套 。 (9) 喷淋头的水冷需重新设计,加工。 2. 反应气路的改造: 1) 更换若干个专用反应室MKS压力控制器。 2) 更换并修改氧化镓专用的质量流量控制器MFC和压力控制器PC(都是美国Brooks的产品),并进一步检修调试,调试控制部分PLC模块,接线,控制程序等。 3) 将原有NH3、H3质量流量控制器MFC和压力控制器PC升级成氧气、笑气专用的MFC和PC。 4) 更换专用热电偶和专用插座。 5) 更换自动温控器。 6) 根据工艺要求,将O2和Ar气路进行互调。 7) 将氨气纯化器移到O2进气气路。 8) 添加恒温水浴和4个MO源,将4个MO源接入系统,检漏并清洗。 3. 耐高温、抗氧化配件升级 1) 样品石墨托更换成具有碳化硅涂层的石墨托。 2) 加热支撑件升级成耐氧化高温钢。 3) 加热器高温隔氧保护。 4) 将原有NH3、H3纯化器改造成O2、N2O纯化器(纯度7N)。
质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:当地;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;

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2024-06-12
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金属有机化学气相沉积设备升级(JJ2024000071)采购公告
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