招标详情
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400-688-2000
项目名称 金属有机化学气相沉积设备升级 | 项目编号 **** |
公告开始日期 2024-06-12 14:27:46 | 公告截止日期 2024-06-15 16:00:00 |
采购单位 **** | 付款方式 内贸:全部货物交货并最终验收合格后,乙方向甲方提供全额的正式发票(10万元以上的国产设备乙方必须提供全额的增值税专用发票),甲方凭验收合格材料向乙方支付100%的合同款。 |
联系人 | 联系电话 |
签约时间要求 | 到货时间要求 内贸:合同签订后15个工作日内 |
预算总价 ¥280000.00 |
发票要求 |
含税要求 |
送货要求 |
安装要求 |
收货地址 **科教园308 |
供应商资质要求 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明 |
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
金属有机化学气相沉积设备升级 | 1 | 批 | 电子工业生产设备 |
品牌 **林科紫外 |
型号 定制 |
预算单价 ¥ 280000.00 |
技术参数及配置要求 1. 反应室的改造: 需要将顶部的喷淋头与石墨基座的距离由目前的273mm,修改为30 mm。 主要部件: (1) 拆除旧反应器,安装新设计制作的反应器。 (2) 顶部气室,需要重新设计制造和加工。 (3) 喷淋头,重新设计,加工。 (4) 重新设计定制石英管2件。 (5) 外有机玻璃管需重新设计和加工。 (6) 上下铝环,重新设计加工。 (7) 连接顶部气室的进气管道改造。 (8) 顶部气室(包括喷淋头,两路进气管道改造)1套 。 (9) 喷淋头的水冷需重新设计,加工。 2. 反应气路的改造: 1) 更换若干个专用反应室MKS压力控制器。 2) 更换并修改氧化镓专用的质量流量控制器MFC和压力控制器PC(都是美国Brooks的产品),并进一步检修调试,调试控制部分PLC模块,接线,控制程序等。 3) 将原有NH3、H3质量流量控制器MFC和压力控制器PC升级成氧气、笑气专用的MFC和PC。 4) 更换专用热电偶和专用插座。 5) 更换自动温控器。 6) 根据工艺要求,将O2和Ar气路进行互调。 7) 将氨气纯化器移到O2进气气路。 8) 添加恒温水浴和4个MO源,将4个MO源接入系统,检漏并清洗。 3. 耐高温、抗氧化配件升级 1) 样品石墨托更换成具有碳化硅涂层的石墨托。 2) 加热支撑件升级成耐氧化高温钢。 3) 加热器高温隔氧保护。 4) 将原有NH3、H3纯化器改造成O2、N2O纯化器(纯度7N)。 |
参考链接 |
售后服务 质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:当地;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时; |
附件(1)
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