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**** | 建设单位代码类型:|
****0505MA7JYG3L76 | 建设单位法人:高贤 |
莫涛 | 建设单位所在行政区划:**省**市****开发区 |
**高新区通安镇新振路518号A4厂房 |
****第三代半导体项目(一阶段) | 项目代码:|
建设性质: | |
2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3973-C3973-集成电路制造 |
建设地点: | **省**市****开发区 通安镇新振路518号A4厂房 |
经度:120.46492 纬度: 31.39122 | ****机关:****环境局 |
环评批复时间: | 2022-10-21 |
苏环建〔2022〕05第0161号 | 本工程排污许可证编号:**** |
项目实际总投资(万元): | 13000 |
300 | 运营单位名称:**** |
****0505MA7JYG3L76 | 验收监测(调查)报告编制机构名称:******公司 |
****0505MA1N8H800A | 验收监测单位:******公司 |
****0481MA1NB7973C | 竣工时间:2023-12-01 |
调试结束时间: | |
2024-03-21 | 验收报告公开结束时间:2024-04-19 |
验收报告公开载体: | ******公司网站 |
第三代半导体项目,从事碳化硅半桥模块生产 | 实际建设情况:第三代半导体项目,从事碳化硅半桥模块生产 |
不变 | 是否属于重大变动:|
年产碳化硅半桥模块240万套 | 实际建设情况:年产碳化硅半桥模块120万套 |
因实际市场需求,第三代半导体项目分阶段实施,一阶段实际建设产能年产碳化硅半桥模块120万套 | 是否属于重大变动:|
碳化硅半桥模块生产工艺包括备料、银浆印刷烘烤、芯片贴片、烧结、铜夹贴片、互连烧结、框架组装、等离子清洗、框架焊接、引线键合、塑封成型固化、去溢胶、切筋成型、测试检测、组装、回流焊、清洗、X光检测等 | 实际建设情况:激光打标产生极少量烟尘,烟尘经设备自带除尘设施处理后,经收集于车间外无组织排放,新增排放量远小于原环评核定无组织颗粒的10%,基本可忽略不计,新增的其他设备不新增三废。部分工艺优化取消,湿法去溢胶、清洗工艺未建。 |
工艺变动: ①工艺优化,取消了二次银浆印刷烘烤、互连烧结、引线框架组装工序; ②工艺优化,工艺中3次等离子清洗改为1次等离子清洗,同时为提高工艺安全性,氢气改成氧气; ③来料陶瓷基板备料后增加激光打标工序,增加1台激光打标机,激光打标产生极少量烟尘,烟尘经设备自带除尘设施处理后,经收集于车间外无组织排放,新增排放量远小于原环评核定无组织颗粒的10%,基本可忽略不计;铜夹进行贴片前增加铜夹分离工序,将大铜夹分离成小铜夹,铜夹分离增加1台分离设备,铜夹分离不新增三废; ④将甲酸回流焊及X光检测工序前置于铜夹贴片后; ⑤去溢胶工序中湿法去溢胶工序未建,仅保留了激光去溢胶;使用清洗液及漂洗液清洗工序未建。 ⑥回流焊后,增加1条冷却隧道对工件进行间接水冷降温,冷却水循环使用,不外排。 因工艺变动,增加了1台上线机、2台上料机用于功率模块、水冷板及其他配件的上料,增加1台贴片机用于焊片(锡片)的裁切及贴片,增加1台拆卸机用于焊接夹具的拆卸,增加1台组装机用于模块与水冷板等组装,增加1台检测设备用于工件外观检测,这些设备新增不新增三废。冷却塔设备数量新增3台,不新增冷却塔强排水。烧结机产生的有机废气、防爆柜产生的有机废气及酸性废气均经密闭收集后,有机废气进入二级活性炭装置处理,酸性废气进入喷淋塔进行处理,该变动未新增新的污染因子,亦未引起排放总量的变化,均在批复的排放总量内 | 是否属于重大变动:|
项目银浆印刷烘烤、塑封成型固化、助焊剂清洗、丝网清洗、设备维护产生的有机废气及回流焊产生的焊接废气经管道负压收集,收集后合并进入一套“二级活性炭吸附装置”处理,经15m高DA001排气筒有组织排放。实验室废气经通风橱负压收集后进入碱液喷淋处理后,经15m高DA002排气筒有组织排放。 打胶粉尘经管道收集,主要污染物为颗粒物,经设备自带除尘器处理后,车间内无组织排放。 去溢胶废水采用1套“pH调节+混凝+絮凝+沉淀+UF+RO”处理,设计能力150m3/d;50%净水回用,50%排水达标接管。生活污水、纯水机浓水、冷却塔强排水接管白荡水质净化厂处理。 | 实际建设情况:2个二级活性炭吸附装置(一备一用),2个二级碱液喷淋装置(一备一用);一阶段验收湿法去溢胶工序未建,不产生相应的去溢胶清洗废水,因此虽然项目现场去溢胶清洗废水处理设施(pH调节+混凝+絮凝+沉淀+UF+RO)已建,但去溢胶清洗废水不产生,废水处理设施亦未运行 |
2个二级活性炭吸附装置(一备一用),2个二级碱液喷淋装置(一备一用);一阶段验收湿法去溢胶工序未建,不产生相应的去溢胶清洗废水,因此虽然项目现场去溢胶清洗废水处理设施(pH调节+混凝+絮凝+沉淀+UF+RO)已建,但去溢胶清洗废水不产生,废水处理设施亦未运行 | 是否属于重大变动:|
环评及批复产生固体废物 | 实际建设情况:因部分工艺未建,部分固废未厂产生,部分固废量发生变化,处置方式不变 |
由于湿法去溢胶、清洗工艺分阶段实施,本次暂未建设,湿法去溢胶、清洗工序对应的废药水、废清洗剂、废分子筛,污水处理工序对应的水处理污泥、废滤材不产生。危险废物中废冷却液、实验室废材、废擦拭布、废包装容器产生量增加,但处理处置方式不变,仍为委托有资质单位处理。具体变化情况如下:冷却液更换频次增加,预计一年更换10次,每次更换量约50L,共计产生废冷却液0.5t/a;实验室产生的实验废材增加,预估实际产生量约0.1t/a;擦拭布用量增加,产生沾染废擦拭布约0.2t/a;废包装容器部分材质规格变化,产生的废包装容器增加约0.4t/a。其余固废总体产生、处理/处置情况不变,与原环评一致。 | 是否属于重大变动:|
0 | 0.39 | 1.5841 | 0 | 0 | 0.39 | 0.39 | |
0 | 0.4836 | 3.456 | 0 | 0 | 0.484 | 0.484 | |
0 | 0.0226 | 0.252 | 0 | 0 | 0.023 | 0.023 | |
0 | 0.0025 | 0.036 | 0 | 0 | 0.003 | 0.003 | |
0 | 0.0362 | 0.324 | 0 | 0 | 0.036 | 0.036 | |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0.006 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
0 | 0.077 | 0.386 | 0 | 0 | 0.077 | 0.077 | / |
1套二级活性炭吸附装置 | 《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3、《大气污染物综合排放标准》(DB32/4041-2021)表1 | 2套二级活性炭吸附装置,一备一用 | 正常 | ||
1套碱液喷淋 | 《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3 | 2套二级碱液喷淋,一备一用 | 正常 |
无 | 验收阶段落实情况:无 |
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无 | 验收阶段落实情况:无 |
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无 | 验收阶段落实情况:无 |
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无 | 验收阶段落实情况:无 |
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无 | 验收阶段落实情况:无 |
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无 | 验收阶段落实情况:无 |
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1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
不存在上述情况 | |
验收结论 | 合格 |