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深圳大学 - 竞价结果公告（CB105902024000875）
摘要信息
中标单位
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中标金额
197000.00
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400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
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**** - 竞价结果公告（****）
发布时间：2024-07-11 15:30:48
申购单号： ****
申购主题： 紫外光刻机
采购单位： ****
竞价开始时间： 2024-07-03 15:38:28
竞价截至时间： 2024-07-11 12:00:00
币种： 人民币
付款方式： 货到验收合格后付款
备注说明： 签订合同后 10 天内到货。
质疑说明： 如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑
成交总额： 197000.0
送货时间： 签订合同后 10 天内到货。
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
收货地址：
| 紫外光刻机 | ****学院****研究所 | 197000.00 | 1、验收合格之日起，免费质保1年，终身维护。2、质保期内2小时响应，24小时到达现场维修，质保期外48小时响应，终身维护。3、售后服务7个工作日发现质量问题包换新或者退货。4、原厂技术人员送货上门安装培训，当面验收，拒绝快递。 | 1．技术参数 曝光面积：4英寸 曝光波长：365nm 分辨力：0.8mm-1mm 对准精度：±1mm 掩模样片整体工件台运动范围：X：15mm;Y:15mm 掩模尺寸： 5英寸,向下兼容 样片尺寸：4英寸，向下兼容，支持碎片 厚度可适应0.1mm--2mm(最大可扩展为15mm) 曝光方式：定时（倒计时方式） 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能 双目双视场对准显微镜：可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍，物镜三对：4倍、10倍、20倍，目镜三对：10倍、16倍、20倍 调平接触压力通过传感器保证重复 数字设定对准间隙和曝光间隙 掩模相对于样片运动行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6° 最大焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件） 光源平行性：2.5 ° 曝光能量密度：>35mW/cm2 单层曝光一键完成 采用球气浮自动找平 照明不均匀性： ￡2.5%（ f100mm范围）； 具备压印模块接口，也具备接近模块接口 曝光光源：350W汞灯；2．外形尺寸：约1100mm（长）700mm(宽) 1600mm（高）3．配置设备主要由均匀照明曝光系统、对准工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。3.1 曝光系统 冷光椭球镜 350W进口直流高压汞灯(进口) XYZ汞灯调节台 冷却风扇光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜23.2 对准工件台系统 掩模样片整体运动台 掩模样片相对运动台 转动台 样片调平机构,自动完成 基片抽拉式上下机构 样片调焦机构，电机自动调 承片台4个：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸 掩模夹4个：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸3.3 电控系统 光源、 电源 双目双视场对准显微镜主体 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个） 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）CCD对准系统，22寸液晶显示器3.4 气动控制系统及辅助配套设备3.41 电控系统 单片机控制系统； 紫外LED电源模块； 控制柜桌3.42 气动系统 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等 电磁阀驱动 气动仪表3.43 真空泵 *1 空压机*1 | 1.0 | URE-2000/35D | 197000.00 | **** |
招标进度跟踪
2024-07-11
中标通知
深圳大学 - 竞价结果公告（CB105902024000875）
当前信息
2024-07-03
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