磁控溅射薄膜沉积设备

发布时间: 2024年07月19日
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****2024年8至11月政府采购意向-磁控溅射薄膜沉积设备 详细情况
磁控溅射薄膜沉积设备
项目所在采购意向: ****2024年8至11月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 磁控溅射薄膜沉积设备
预算金额: 155.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0409 磁式分析仪
采购需求概况 :
****拟采购磁控溅射薄膜沉积设备一套,要求:1. 衬底4英寸向下兼容;2. 6个2英寸靶枪;3. 溅射速率0.01nm/s-1nm/s; 4. 本底真空:8E-6 Torr; 5. 温度:室温-800℃;6. 转速0-20RPM; 7. 包含进样室。质保期1年。
预计采购时间: 2024-10
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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2024-07-19
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