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关键尺寸扫描电子显微镜 | |
项目所在采购意向: | zycgr210****32024年7至12月政府采购意向 |
采购单位: | zycgr****1303 |
采购项目名称: | 关键尺寸扫描电子显微镜 |
预算金额: | 1700.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****9900其他电气设备 |
采购需求概况 : | 本次采购的关键尺寸扫描电子显微镜是量测半导体器件关键尺寸的高精度仪器。通过扫描电子束成像获取样品表面高分辨率图像,采用图像算法确**构边界计算得到线宽等关键尺寸,被广泛应用于工艺管控,确保硅光芯片性能和可靠性。 |
预计采购时间: | 2024-09 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。