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纳米位移台 | |
项目所在采购意向: | ****2024年11至1月政府采购意向 |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 纳米位移台 |
预算金额: | 200.000000万元(人民币) |
采购品目: | A020611半导体直、变流设备 |
采购需求概况 : | 采购数量:5套; 一、位移台 1、类型:六轴压电位移台; 2、x、y、z轴行程(闭环):≥150μm; 3、θx、θy、θz轴行程(闭环):≥±0.45mrad; 4、x、y、z轴分辨率(闭环):≤3nm; 5、θx、θy、θz轴分辨率(闭环):≤0.5μrad; 6、x、y、z轴重复定位精度:≤10nm 7、θx、θy、θz轴重复定位精度:≤1μrad; 8、最大负载:≥20N。 二、控制器 1、控制轴数:6轴; 2、采样率:≥10kHz; 3、通讯接口:网口; 4、提供C#应用程序接口; 5、电缆长度:≥3m。 |
预计采购时间: | 2024-11 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。