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DY2024030-北京大学有机-金属化学气相沉积系统单一来源公示

结果-中标通知

北京 -北京-北京市

发布时间： 2024年09月05日

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****-****有机-金属化学气相沉积系统单一来源公示

****实验室主要从事低维材料可控制备方面的研究，目前承担了制备大面积二维半导体晶圆的研究任务；研究需要实现大尺寸二维金属硫化物生长，在研究的过程中，需要利用“有机-金属化学气相沉积系统”来实现过渡金属源均匀供给，因为金属硫化物生长参数较复杂，需要精确控制生长过程，并根据生长情况逐代调节，这就需要“有机-金属化学气相沉积系统”的托盘通过软件精准控制升降、旋转；经过调研，目前只有**市纳设****公司的2D-MOB1型“有机-金属化学气相沉积系统”能够满足研究的需要；因此，特申请以单一来源的方式进行采购。

单一来源公示2024年9月5日到2024年9月12日。