离子减薄仪和原子力显微镜

A****0301显微镜,A****0305电子光学及离子光学仪器

离子减薄仪 1、 真空度：极限真空度 5*10-3Pa 2、 *高压电源：（1）0~6000V （低能减薄） （2）0~10000V （高能减薄） 3、 减薄离子：氩离子，可选氙离子 4、 氩离子数量：标配 2 个对角离子源，可扩展到 4 离子源； 5、 离子束流密度：最大 10 mA/cm 2（优于 150μA/cm2） 6、 离子束斑尺寸：300μm~500μm；1.5mm~2.5 mm 两档， 7、 加工速度（铜）：50 μm/h (最大) - 2 - 8、 样品尺寸：3 毫米或 0~Φ25 毫米，支持定制 9、 样品对离子束的倾角： 0~90° 10、 样品台可按任意角度摆动，转速：1 – 6 rpm。 11、 氩气流量控制：0~10ml/min 可调 12、 换样抽真空时间：2.5分钟，加装快换装置可缩短换样时间到 30~60s 13、 具有自保护功能。 14、 系统可选液氮冷台、半导体冷台 15、 半导体制冷台（选配件）：业界独有的半导体制冷；半导体制冷系 统采用国际最新研发的 900W 导热垫，操作维护方便，节约成本。 16、 电源电压：220V（±10%）单相，50HZ（±1） 17、 总功率：小于 1.2KW 18、 仪器运行的持久性：由于对分子泵、离子源核心技术的升级换代， 使得仪器可保持长期连续 24 小时运行 19、 控制系统采用 Ubuntu 系统，自主知识产权，系统更稳定。 原子力显微镜 用于材料表面形貌观察、获得三维形貌图像 主要技术参数 1.XY方向噪音水平：0.2nm闭环；0.02nm开环 2.Z方向噪音水平：0.04nm；0.03nm开环 3.XY方向非线性度：0.15%；Z方向非线性度：1% 4.扫描范围：最大可达100*100*100微米