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上海大学2024年10月政府采购意向
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1900000.00
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***********公司企业信息
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 ****2024年10月政府采购意向 如下：
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 1 | 自动晶圆研磨抛光后道清洗设备 | 1)卡盘能兼容 4、6、8 寸晶圆； 2)配有防液体飞溅保护罩，该防护罩同时具备排酸和排碱功能； 3)Pencil 臂具备旋转和升降功能； 4)配有 DHF 和 DIW 喷头各一个，且角度可调； 5)腔室配有 FFU，能为腔室提供 Class 1 等级的微环境； 6)腔室废气排放管路数目≥2； 7)腔室废液排放管路数目≥2，且 HF 需要单独排放； 8)具备漏液报警和液体进口关断功能； 9)质保至少2年。 | ****000.00 | 2024-10 |
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2024-09-13
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