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上海工程技术大学 - 竞价公告（CB108562024000135）
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招标估价
180000.00
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2024-09-19 09:32:21 截止时间：2024-09-22 09:42:10
申购主题： 清洗机
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **市/市辖区/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后45天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 180000.0人民币
| 清洗机 | 1.0/台 | 180000.0 | 不指定 | 不指定 | 1.需要兼容6英寸以上的硅片刻蚀工艺和光刻工艺的清洗，也可以用于DIE、sensor和led板等对象的清洗； 2.需配备化学液清洗槽和QDR清洗槽，每次清洗硅片＞25片； 3.化学槽需兼容氨水和双氧水等常见清洗液； 4.颗粒物去除率需＞80%； 5.OXE ER应该＞30 A/15 min，颗粒控制＜18 ea； 6.需配备溢流、喷淋、鼓泡、快排模块加强清洗效果。 7.需为本单位提供机器操作培训，设备最长可以在交付后一年内启动使用，启用之后一年的整机质保，质保期内需提供免费上门维修服务。 8.为保证工艺一致性，刻蚀机和清洗机需要为同一家设备供应商。 | 设备最长可以在交付后一年内启动使用，启用之后一年的整机质保，质保期内需提供免费上门维修服务。 |
招标进度跟踪
2024-09-19
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上海工程技术大学 - 竞价公告（CB108562024000135）
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