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上海工程技术大学 - 竞价公告（CB108562024000138）

公告-招标公告

上海 -上海-上海市

发布时间： 2024年09月23日

摘要信息

招标单位

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代理联系人

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招标详情

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**** - 竞价公告（****）

发布时间：2024-09-23 13:27:56 截止时间：2024-09-26 13:37:05

申购主题： HMDS烘箱

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址： **市/市辖区/**区/****

供应商资质： **最大HMDS烘箱供应商

备注说明： **真萍拥有“一种芯片专用HMDS涂胶系统”实用新型专利证书（证书号：ZL 2017 2 ****387.0）

送货时间：合同签订后30天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算： 120000.0人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

HMDS烘箱

1.0/台

120000.0

真萍科技

MD-40

1.1 机外壳采用优质冷轧钢钢板烤漆处理制造，内胆为医用专用不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防****工作室内物体一目了然。 1.2 箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。 1.3 微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。 1.4 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。 1.5 HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用优质材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。 1.6 HMDS管路加热功能，使HMDS液体进入箱体的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易. 1.7 低液报警装置，采用国际领先的液体感测器，能及时灵敏给出指令（当HMDS 液过低时发出报警及及时切断工作起动功能） 1.8 温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报） 1.9整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316医用专用不锈钢材料，整体使用无缝焊接避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害） 1.10 设备自带温度记录及压力记录（能及时找到异常）二、整机尺寸、真空腔体尺寸： 2.1 内胆尺寸：450X450X450mm) 外尺寸980*1600*650mm 容积：90L 2.2 载物托架：2块 2.3 室温+10℃-200℃ 控温范围：温度分辨率：0.1℃ 温度波动度：±0.5℃ 2.4 真空泵：干泵（选配）爱德华15i或者鲍斯干泵。真空度：133pa， 2.5 加热方式：四面加热。 2.6 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片;8寸晶圆片等。 2.7开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟(按产品所需而定烘烤时间),为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为常规降温）；

按行业标准提供服务，质保2年

附件:HMDS烘箱关键参数设置.xlsx
HMDS销售情况2023全年-市占率.xlsx
HMDS烘箱泵要求.docx

附件（3）