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序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-244BOECDDT01/76 | 显影回收系统 显影液控制系统 清洗回收系统 | 14套 | 设备用途及基本要求 本设备主要用于显影液回收管理,光刻胶分离。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
**** | 自动宏观检测机 | 10套 | 应用和一般要求 该系统主要用于LTPS和AMOLED行业的在线宏观检查系统的工艺Mura检查判定。该系统要求设计合理,技术先进,以确保系统具有优异的性能表现。控制系统选用的动作元件应具有高精度、高可靠性和快速响应性。设备应便于使用、操作和维护,构造美观,结构紧凑,性能稳定,售后服务良好。 | CNY5000/USD850 |
4197-244BOECDDT01/78 | 柱状隔垫物光学检查机 | 1套 | 设备用途及基本要求 本设备主要用于8.6代AM-OLED BP工艺中PS和PDL的检测。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244BOECDDT01/79 | 卡匣清洗机 | 1套 | 设备用途及基本要求 本设备主要用于【掩模版承载台清洗机】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244BOECDDT01/80 | 在线膜厚测量补偿设备部件 | 9套 | 设备用途及基本要求 本设备主要用于【在线膜厚测量补偿设备-机构系统】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY20000/USD3250 |
4197-244BOECDDT01/81 | 在线膜厚测量补偿系统 | 9套 | 设备用途及基本要求 本设备主要用于【在线膜厚测量补偿系统-测量系统】。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000/USD1650 |