氮化硅镀膜机招标公告

氮化硅镀膜机

招标公告

招标编号：****

本招标项目氮化硅镀膜机招标人为****，招标项目资金来自自筹资金，出资比例为 100%。该项目已具备招标条件，现对氮化硅镀膜机进行公开招标。

2.1 项目名称：氮化硅镀膜机

2.2数量：1 台

2.3 功能模块的构成及其要求

氮化硅镀膜机具备自动传送晶圆及连续成膜功能，主要包括真空腔室、真空系统、烘烤装置、气路系统、水冷却系统、电源系统、晶圆冷却系统、设备安全系统、计算机控制系统等模块。本设备为全新的自动设备。

2.4 技术要求：具体详见招标文件第五章供货要求。

2.5交货地点：**市**区西永大道23号。

2.6交货时间：合同生效后 150 天。

调机时间：不超过15个工作日（二次配完成后开始计算）。

3.1投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民**国境内注册的法人或其他组织，具备****事业单位法人证书或其它营业登记证书。

3.2 本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。

3.3从2022年至今，投标机型或同系列机型有POI或LN或LT晶圆上制备SiNx膜的应用案例。须提供设备采购合同（所供产品****制造厂商出品、合同首页和盖章页必须提供）、验收证明和用户单位联系人、电话等证明材料，以上佐证材料均需加盖投标单位公章。

3.4本次招标不接受联合体投标。

3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。

凡有意参加投标者，请于2024年 9 月 24 日至2024年 9 月 29 日每日上午9：00到下午17：00（节假日****公司处或以电子邮件的方式进行登记报名并购买招标文件，招标文件售价500人民币/套，售后不退。详情请咨询023-****5002、136****6113。

5.1 投标文件递交的截止时间（同投标截止时间，下同）为：2024年 10 月 15 日 09 时 00分（**时间，下同），递交投标文件时间：2024年 10 月 15 日 08 时 30 分－2024年 10 月 15 日 09 时00分。地点：**市**区西永大道36****酒店会议室。

5.2 逾期送达或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。

本次招标公告在“中国招标投标公共服务平台（http://www.****.com/）、中国电科电子采购平台（www.****.com）”上发布。

招标人：****

地址：**市**区西永大道23号

联系人：吴勇

电话：023-****0107

招标代理机构：****

地 址：**市**区五里店嘉景园B座14-1

联系人：张凤

电话：023-****5002 136****6113

传真：023-****5001