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永祥硅材料2万吨高纯晶硅拉棒切芯项目（一期）

审批

四川-乐山-五通桥区

发布时间： 2024年09月25日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****1112MA62844A1K	袁中华
田敏	省市**区
市区竹根镇永祥路100号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

永祥硅材料2万吨高纯晶硅拉棒切芯项目（一期）	****

2021版本:060-耐火材料制品制造；石墨及其他非金属矿物制品制造	C3099-C3099-其他非金属矿物制品制造
	省市区省******基地
经度:103.838896 纬度: 29.375682	****环境局
	2022-12-26
乐市环审五字〔2022〕16号	****1112MA62844A1K001Q
2023-05-10	30000
1485	****
****1112MA62844A1K	奔涌**公司
****1102MA6AYBE1XU	中望**公司
****0132MA6CRLHF4F	2024-04-01
2024-04-01	2024-05-31
2024-08-27	2024-09-24
	https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=411898 typeTen=1

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

硅芯（P/N型）：1.2万吨（240万套）	硅芯（P/N型）：1.2万吨（240万套）
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

硅芯直拉：（1）原生硅料入厂本项目主要原料原生硅料，由四**公司提供，为免洗多晶硅，粒径为0.2~1mm（18目~170目），可以直接投炉使用，原生硅料入厂时采用封口式吨包包装，单个吨包装料量约20kg，吨包再装入封闭式折叠围板箱包装进行转运，单个围板箱装约50个吨包，本项目厂区与四公司相邻，原生硅料以汽车运输的方式转运本项目厂区原料材料间暂存。污染物产生情况：转运过程生硅料采用封口式吨包+封闭式围板箱包装，因此转运过程中物料无起尘。（2）装料、合炉暂存于硅芯单晶车间辅房原材料间的的原生硅料经升降机提至装料区，各投料工位，初投料工位采用人工装料的方式，由吨包下方开袋，硅料装入坩埚中，每台坩埚装料量为260kg~360kg，装料完成后的坩埚经AGV自动导引运输车运至硅芯炉旁，再经硅料自带的提升装置进入硅芯炉。污染物产生情况：硅料由原料间提升至装料区均在封口式吨包+封闭式围板箱中不会起尘，吨包由开袋过程中会起尘，硅料装料坩埚后转运至硅料炉采用AGV自动导引运输车低速转运，该过程不会起尘。装料完成后，吨包及围板项目均由供应商回收。（3）直拉项目直拉过程均再硅芯炉内完成，主要过程包括：熔料、缩颈生长、方放肩生长整个过程约105~135h。 ①熔料：将装有多晶硅料的石英坩埚放入硅芯炉内；此时硅芯炉必须关闭并抽成真空，并捡漏，真空度维持再10~20即为合格，再充入高纯氩气使之维持于一定压力范围内，然后打开石墨加热器电源，加热至熔化温度1420℃以上，该过程运行时间为6~8h，将多晶硅料熔化。 ②缩颈生长当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中。由于籽晶与硅熔体接触时的热应力，会使籽晶产生位错，这些位错必须利用缩颈生长使之消失掉。缩颈生长是将籽晶快速向上提升，使长出的籽晶的直径缩小到一定大小（8-10mm)由于位错线与生长轴成一个交角，只要缩颈够长，位错便能长出晶体表面，产生零位错的晶体，缩颈生长过程炉内运行温度为1420℃，运行时间约3h。过程炉内运行温度为800℃~1200℃，运行时间约3h。 ③放肩生长长完细颈之后，须降低温度与拉速，使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。过程炉内运行温度为800℃~1200℃，运行时间约25h。 ④等径生长长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不断调整，可使晶棒直径维持在正负2mm之间，这段直径固定的部分即称为等径部分。过程炉内运行温度为800℃~1300℃，运行时间约45h。 ⑤尾部生长在长完等径部分之后，如果立刻将晶棒与液面分开，那么热应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生，必须将晶棒的直径慢慢缩小，直到直径缩小至一定大小后与液面分开。这一过程称之为尾部生长。运行时间约1h。 ⑥取棒复投当完成第一根单晶棒生产后，将第一根硅棒提升至副炉室中后，关闭隔离阀，通过副炉取出第一根硅棒，在主炉室中的坩埚内还剩余有多余的多晶硅熔液，通过机二次装料，完成第二根硅棒的生产，投料工位采用人工装料的方式，由吨包下方开袋，硅料装入复投桶中，每个复投桶装料量为260kg~360kg，装料完成后的复投料桶经AGV自动导引运输车运至硅芯炉旁，再经硅料自带的提升装置进入硅芯炉。污染物产生情况：二次装料硅料由原料间提升至装料区均在封口式吨包+封闭式围板箱中不会起尘，吨包由开袋过程中会起尘，硅料装料复投桶后转运至硅料炉采用AGV自动导引运输车低速转运，该过程不会起尘。装料完成后，吨包及围板项目均由供应商回收。（4）停炉长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后停炉取出，停炉前抽出炉内氩气送至氩气回收装置，停炉后拆除炉内硅料并用高压空气对炉内进行清扫，即完成一次生长周期。在拉晶单元熔料工段，单晶炉要求维持在氩气真空状态，在抽真空的同时充排氩气，排放量约6000L/台﹒h，主要成分氩气为惰性气体，无毒无害，含有微本项目，****公司15GW单晶拉棒切方项目设置一套7000Nm3/h氩气回收装置。每台硅芯炉配套一台过滤罐处理后进入氩气回收装置区。除尘后的废氩气经过压缩机加压后，进入催化燃烧装置，在催化剂里得到充分的燃烧去除O2，生成水和CO2，在通过低温精馏去除水和CO2后的纯净氩气在经过一次加压后返回给硅芯炉。含尘氩气经过滤罐+氩气回收装置处理后循环利用，不外排。本次环评不对其产生产生源强进行核算。污染物产生情况：拆炉清扫废气及锅底炭头料。（5）截断（去头尾）将硅芯母棒切掉头尾两端，中间成品硅芯母棒运输至硅芯切割工序，再用金刚石工具切割法，通过利用电镀上金刚石微粒的细钢丝线在被加工工件速地往复运动或单向移动，将硅棒压在硅芯切割机用金刚石线交叉组成的方形线网上，将硅芯母棒切割成细长的硅芯。硅芯机加：项目硅芯机加环节以拉晶环节的晶棒为原材料，通过金刚线切割制取方硅芯。本工序加工的原料为已去头尾的硅芯圆棒，其具体工艺流程如下：（1）断面打磨对去头尾的硅芯圆棒使用无尘纸进行擦拭，除去断面上残余的粉尘至表面洁净光滑为止；（2）切割使用硅芯切割机，利用金刚线切割硅棒并加水冷却，将硅芯圆棒从头部切割至尾部，切割为长方形硅芯，硅芯规格为15mm×15mm、12mm×12mm、10mm×10mm等规格，冷却水循环使用，会定期补充新鲜水，置换一定量的循环水；污染物产生情况：切割过程中产生微硅粉与水汽结合形成含湿粉尘，此外该工序还会产生含硅废水及头尾料。（3）硅芯判定根据产品规格的要求判定半成品硅芯下一步生产工序为磨锥或打孔；（4）立柱磨锥使用磨锥机的金刚砂烧结锥式磨头将方硅芯一端磨削为锥形，锥形长度根据厂家需求分别定制为18mm、41mm、4mm等，磨锥过程中需要用水冷却，该工序会产生含硅废水；（5）横梁截断、打孔根据产品规格要求将方硅芯截断为相应要求长度后，使用打孔机利用金刚砂烧结锥式磨头将硅芯横梁两边磨削为锥孔。打孔过程中需要用水冷却，该工序会产生含硅废水；（6）退火项目退火炉使用能源类型为电能，将方硅芯放于退火炉中，加热至750℃稳定一段时间出炉，迅速风冷1h左右，此过程主要为消除硅芯内氧含量；（7）检验入库将检验合格后的方硅芯入清洗车间备用区暂存以备后续工段清洗。硅芯酸洗：（1）酸洗酸洗过程在全封闭清洗机内进行，硅芯装入清洗篮，通过移动机械手自动把清洗篮放入各清洗槽中，将检验合格的方硅芯放入清洗槽内，槽内配料酸溶液（HF:HNO3=1:9）,单槽初配量为HF90L,HNO3810L，每批料酸洗结束后按比例补充硝酸和氢氟酸，方硅芯酸洗节拍为115根/10min,横梁酸洗节拍为500根/10min。酸洗槽内的酸溶液每5天更换一次。污染物产生情况：酸洗过程会挥发含NO2、硅氟酸雾的废气以及废酸；（2）清洗完成酸洗后使用纯水超声进行16min清洗，包括：纯水漂洗、超声波清洗、超声波清洗、热水慢提槽，3#~6#槽为逐级逆流清洗方式，由6#槽内连续补入新鲜水（纯水），逐级逆流顺序为6#→5#→4#→3#，最终通过3#纯水漂洗溢流排水槽排出，清洗过程中会产生含酸废水；（3）烘干将清洗完成后的方硅芯摆放在专用货架，送入热风式风干箱；设置温度为80°左右，热风吹扫用时40min。（4）检测通过电阻率测试仪对方硅芯的头、中、尾三点进行检测，以此三点的平均值作为改硅芯的最终电阻率，与此同时检测电阻型号：P型、N型、PN型。（5）包装将检测完成后的方硅芯对应厂家的名称、长度、型号、电阻范围、支数等分别包装。	硅芯直拉：（1）原生硅料入厂本项目主要原料原生硅料，**公司提供，为免洗多晶硅，可以直接投炉使用，原生硅料入厂时采用封口包装，单个吨包装料量约600kg，吨包再装入封闭式折叠围板箱包装进行转运，单个围板箱装约1个吨包，原生硅料以汽车运输的方式转运本项目厂区原料材料间暂存。污染物产生情况：转运过程生硅料采用封口式吨包+封闭式围板箱包装，因此转运过程中物料无起尘。（2）装料、合炉暂存于硅芯单晶车间辅房原材料间的原生硅料经电梯提至装料区，各投料工位，初投料工位采用人工装料的方式，由吨包下方开袋，硅料装入坩埚中，每台坩埚装料量为260kg~360kg，装料完成后的坩埚经AGV自动导引运输车运至硅芯炉旁，再经设备自带的提升装置进入硅芯炉。污染物产生情况：硅料由原料间提升至装料区均在封口式吨包+封闭式围板箱中不会起尘，吨包由开袋过程中会起尘，硅料装料坩埚后转运至硅料炉采用AGV自动导引运输车低速转运，该过程不会起尘。装料完成后，吨包及围板箱均由供应商回收。（3）直拉项目直拉过程均在硅芯炉内完成，主要过程包括：熔料、缩颈生长、方放肩生长、等径生长整个过程约15~25h/次。 ①熔料：将装有多晶硅料的石英坩埚放入硅芯炉内；此时硅芯炉必须关闭并抽成真空，并检漏，真空度维持在10~20即为合格，再充入高纯氩气使之维持于一定压力范围内，然后打开石墨加热器电源，加热至熔化温度1420℃以上，该过程运行时间为6~8h，将多晶硅料熔化。 ②缩颈生长当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中。缩颈生长是将籽晶快速向上提升，使长出的籽晶的直径缩小到一定大小（8-10mm)，缩颈生长过程炉内运行温度为1400℃~1450℃，运行时间约0.5h。 ③放肩生长长完细颈之后，须降低温度与拉速，使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。过程炉内运行温度为1400℃~1450℃，运行时间约0.5h。 ④等径生长长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不断调整，可使晶棒直径维持在正负2mm之间，这段直径固定的部分即称为等径部分。过程炉内运行温度为1400℃~1450℃，运行时间约10h。 ⑤取棒复投当完成第一组硅芯生产后，将第一组硅芯提升至副炉室中后，关闭隔离阀，通过副炉取出第一组硅棒，在主炉室中的坩埚内还剩余有多余的多晶硅熔液，通过二次装料，完成第二根硅棒的生产，投料工位采用人工装料的方式，由吨包下方开袋，硅料装入复投桶中，每个复投桶装料量为10kg~160kg，装料完成后的复投料桶经AGV自动导引运输车运至硅芯炉旁，再经设备自带的提升装置进入硅芯炉。污染物产生情况：二次装料硅料由原料间提升至装料区均在封口式吨包+封闭式中不会起尘，吨包在开袋过程中会起尘，硅料装料复投桶后转运至硅料炉采用AGV自动导引运输车低速转运，该过程不会起尘。装料完成后，吨包及围板箱均由供应商回收。（4）停炉长完的硅芯被升至上炉室冷却一段时间后停炉取出，停炉前抽出炉内氩气送至氩气回收装置，停炉后拆除炉内硅料并用负压除尘对炉内进行清扫，即完成一次生长周期。在拉晶单元熔料工段，硅芯炉要求维持在氩气真空状态，在抽真空的同时充排氩气，排放量约6000L/台﹒h，主要成分氩气为惰性气体，无毒无害，含尘氩气依托****公司氩气回收装置处置，****公司15GW单晶拉棒切方项目设置一套7000Nm3/h氩气回收装置。每台硅芯炉配套一台过滤罐处理后进入氩气回收装置区。除尘后的废氩气经过压缩机加压后，进入催化燃烧装置，在催化剂里得到充分的燃烧去除O2，生成水和CO2，在通过低温精馏去除水和CO2后的纯净氩气在经过一次加压后返回给硅芯炉。含尘氩气经过滤罐+氩气回收装置处理后循环利用，不外排。本次环评不对其产生源强进行核算。硅芯机加：（1）截断（去头尾）硅芯母棒采用截断机进行切掉头尾两端，截断面采用湿法作业，作业面淋水加工。污染物产生情况：产生含硅废水及头尾料。（2）硅芯判定根据产品规格的要求判定半成品硅芯下一步生产工序为磨锥或打孔。（3）磨锥使用磨锥机的金刚砂烧结锥式磨头将硅芯一端磨削为锥形，锥形长度根据厂家需求分别定制，磨锥过程中采用湿法作业，作业面淋水加工。该工序会产生含硅废水和噪声。（4）横梁截断、打孔根据产品规格要求将方硅芯截断为相应要求长度后，使用打孔机利用金刚砂烧结锥式磨头将硅芯横梁两边磨削为锥孔。打孔过程中需要用水冷却，该工序会产生含硅废水和噪声。（5）检验入库将检验合格后的硅芯进入清洗车间备用区暂存以备后续工段清洗。硅芯酸洗：检验合格后的硅芯送至清洗工段进行酸洗，本项目硅芯酸洗工艺流程如下：（1）酸洗酸洗过程在全封闭清洗机内进行，硅芯装入清洗篮，通过移动机械手自动把清洗篮放入各清洗槽中，将检验合格的方硅芯放入清洗槽内，槽内配料酸溶液（HF:HNO3=1:9）,单槽初配量为HF90L,HNO3810L，每批料酸洗结束后按比例补充硝酸和氢氟酸，硅芯酸洗节拍为115根/10min,横梁酸洗节拍为500根/10min。酸洗槽内的酸溶液每5天更换一次。污染物产生情况：酸洗过程会挥发含NO2、硅氟酸雾的废气以及废酸；（2）清洗完成酸洗后使用纯水超声进行16min清洗，包括：纯水漂洗、超声波清洗、超声波清洗、热水慢提槽，3#~6#槽为逐级逆流清洗方式，由6#槽内连续补入新鲜水（纯水），逐级逆流顺序为6#→5#→4#→3#，最终通过3#纯水漂洗溢流排水槽排出，清洗过程中会产生含酸废水。（3）烘干将清洗完成后自动清洗机进入烘干槽；设置温度为80°左右，热风吹扫用时30min~40min。（4）检测通过电阻率测试仪对硅芯的头、中、尾三点进行检测，以此三点的平均值作为该硅芯的最终电阻率，与此同时检测电阻型号：P型、N型、PN型。（5）包装将检测完成后的方硅芯对应厂家的名称、长度、型号、电阻范围、支数等分别包装。
机械加工工序取消断面打磨、退火工序，磨倒一体机、开方机、返截配棒机、破碎机等设备因技术升级取消安装，机加清洗车间部分调至二期生产场地建设

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

生活污水：办公生活依托****公司已建化粪池进行预处理，总容积约为200m3；含硅废水：依托光伏科技回用水处理装置进行处理，处理后循环使用。园区污水管网；含酸废水：含酸废水处理装置（调节池+混凝沉淀+反硝化+好氧工艺），处理规模为600m3/d，装料废气：集气罩+脉冲袋式除尘器+25m高排气筒排放（DA002），拆炉清扫废气：高负压抽风+脉冲袋式除尘器（6套）+25m高排气筒排放（DA003、DA004、DA005），打磨废气：集气罩（捕集效率90%）+脉冲袋式除尘器+25m高排气筒（DA006）排放，酸洗废气：采用负压操作+三级洗涤塔+25米高排气筒（DA001），含尘氩气依托**公司已建氩气回收装置进行处理选用低噪设备、厂房隔声、基座减震、距离衰减、加强管理等措施降低噪声影响，生活垃圾集中收集后由当地环卫部门统一处置，废坩埚、废石墨件、废金刚线、依托****公司M2#固废库（240m2）进行暂存；含硅废水处理装置污泥经板框压滤机脱水处理后依托光伏科技M4#硅泥库（220m2）暂存，含酸废水处理装置污泥经板框压滤机脱水处理后依托光伏科技M4#硅泥库（220m2）暂存，废矿物油（真空泵废油、废液压油等）和沾染毒性的废弃包装物，依托的光伏科技M3#危废库（220m2）暂存	生活污水：办公生活依托****公司已建化粪池进行预处理，总容积约为200m3，含硅废水：依托光伏科技回用水处理装置进行处理，处理后循环使用。园区污水管网，含酸废水：含酸废水处理装置（调节池+混凝沉淀+反硝化+好氧工艺+高效磁混凝），处理规模为720m3/d，装料废气：集气罩+脉冲袋式除尘器+30m高排气筒排放（DA001），拆炉清扫废气：高负压抽风+脉冲袋式除尘器（3套）+30m高排气筒排放（DA003、DA004、DA005），打磨废气：集气罩（捕集效率90%）+脉冲袋式除尘器+30m高排气筒（DA008）排放，酸洗废气：采用负压操作+四级洗涤塔+30米高排气筒（DA015），含尘氩气依托**公司已建氩气回收装置进行处理，选用低噪设备、厂房隔声、基座减震、距离衰减、加强管理等措施降低噪声影响，生活垃圾集中收集后由当地环卫部门统一处置，废坩埚、废石墨件、废金刚线、依托**公司M2#固废库（240m2）进行暂存；含硅废水处理装置污泥经板框压滤机脱水处理后依托光伏科技M4#硅泥库（220m2）暂存，含酸废水处理装置污泥经板框压滤机脱水处理后依托光伏科技M4#硅泥库（220m2）暂存，废矿物油（真空泵废油、废液压油等）和沾染毒性的废弃包装物等危险废物，暂存于**危废暂存间
含酸废水处理规模增大，处理工艺增加高效磁混凝，洗涤塔为4级洗涤塔，排气筒高度由25m改为30m，

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

严格落实运营期大气污染防治工作。含酸废气经负压操作+三级洗涤塔循环喷淋洗涤吸收处理后经25米高排气简排放；装料废气经集气罩+脉冲袋式除尘器处理后经25m高排气筒排放；拆炉清扫废气经高负压抽风+脉冲袋式除尘器处理后经过3根25m高排气筒排放；打磨废气经集气罩+脉冲袋式除尘器处理后经25m高排气筒排放；湿粉尘经负压抽风管抽出+旋流板除尘洗涤塔进行处理后经25米高排气筒排放，外排废气执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996）表2排放限值要求，并规范设置排气筒旋梯、采样口、监测平台、标识标牌，	运营期已严格落实大气污染防治工作。含酸废气经负压操作+四级洗涤塔循环喷淋洗涤吸收处理后经30米高排气简排放；装料废气经集气罩+脉冲袋式除尘器处理后经30m高排气筒排放；拆炉清扫废气经高负压抽风+脉冲袋式除尘器处理后经过3根30m高排气筒排放；打磨废气经集气罩+脉冲袋式除尘器处理后经30m高排气筒排放；机加工序取消断面打磨，截断机、清洗机采用纯水湿法作业，无湿粉尘产生。废气排放口皆已规范设置扶梯、采样口、监测平台，每根排气筒上皆有标识标牌
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）氟化物(吨/年)

0	0	0	0
12.348	13.03	12.348	12.348
0.11	0.97	0.11	0.11
0.0388	0.49	0.039	0.039
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0	0	0	0	/
0.312	15.41	0.312	0.312	/
0	5.85	0	0	/
0	0	0	0	/
0.0518	0.07	0.052	0.052	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	预处理池	《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）三级排放标准，同时参****基地污水处理厂设计进水水质要求	与环评一致	氨氮、总磷、总氮、悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、氯化物、氟化物、动植物油及pH满足《****基地污水处理厂设计进水水质要求》要求
2	含硅废水处理系统	《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）三级排放标准，同时参****基地污水处理厂设计进水水质要求	与环评一致	氨氮、总磷、总氮、悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、氯化物、氟化物、动植物油及pH满足《****基地污水处理厂设计进水水质要求》要求
3	污水处理站	《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）三级排放标准，同时参****基地污水处理厂设计进水水质要求	新增高效磁混凝	氨氮、总磷、总氮、悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、氯化物、氟化物、动植物油及pH满足《****基地污水处理厂设计进水水质要求》要求

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

装料废气：经收集后由1套脉冲袋式除尘器处理后由30m高排气筒排放（DA001），拆了清扫废气：分别经一套脉冲袋式除尘器处理后由30m高排气筒排放（DA003~DA005），打磨废气：设置侧吸风集气罩并配套1套脉冲袋式除尘器处理后由30m高排气筒（DA008）排放，酸洗废气：采用负压操作+四级洗涤塔+30米高排气筒排放，

执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297－1996）中标准

排气筒筒高度由25m改为30m，其余与环评一致

本项目装料废气、拆炉清扫废气、打磨废气中颗粒物排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2标准要求，含酸废气中氮氧化物、氟化物排放浓度和排放速率满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2标准要求

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

厂房隔声

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）表1中3类标准

与环评一致

项目各监测点位厂界噪声昼、夜间监测结果均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）表1中3类标准要求

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

一般防渗区：等效黏土防渗层厚度 Mb≥1.5m，渗透系数K≤1×10-7cm/s ，重点防渗区：等效黏土防渗层厚度 Mb≥6.0m，渗透系数K≤1×10-10m/s

与环评及批复一致

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

生活垃圾：交由当地环卫部门统一处置，头尾料：回收利用，埚底料：回收利用，废坩埚、废石墨件：暂存于******公司M2#固废库，定期由厂家回收，收尘灰：暂存于******公司M2#固废库，定****公司，废金刚线：暂存于******公司M2#固废库，定期由厂家回收，氟化物工段污泥、生化工段污泥：暂存于******公司M4#硅泥库，定期交由******公司处置，废矿物油（真空泵废油、废液压油等）：暂存于****M3#危废暂存间，定期交由**中****公司处置，沾染毒性的废弃包装物：暂存于****M3#危废暂存间，定期交由**省****公司处置，废酸液：酸洗产生的废酸液由设备直接退入废酸罐暂存，后交由******公司进行处置

与环评级批复一致

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

应急处理池1000m3

与环评及批复一致

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程