微波等离子体化学气相沉积

A****2402-真空应用设备

申请采购一台微波等离子体化学气相沉积系统。主要用于制备大尺寸金刚石高纯单晶、掺杂半导体单晶、光学级金刚石多晶窗口、电子级金刚石单晶样品等。 采购数量为1套。采购的微波等离子体化学气相沉积系统需包含以下功能模块：（1）干泵，1台（2）分子泵，1台，（3）微波源，1套，（4）红外高温计，1个，（5）气路，4路，（6）样品台，1套，（7）控制系统及软件。采购的微波等离子体化学气相沉积系统达到的主要性能如下：（1）2.45GHz微波源，最大功率6kW，泄漏率≤5mW/cm2。（2）最佳真空度≤3*10-7 mBar。（3）工艺气压不小于240mbar，可以高速率生长单晶。（4）标准配置4条气路，可增加至7条（流量10-5000sccm）。（5）双色红外高温计测试样品表面温度，范围 475-1475°C可调。（6）生长样品过程中样品台高度电动可调，精度优于10μm。 采购设备需满足相应设备技术参数中的各项指标，产品质量达到设计要求，安装调试各项指标符合招标技术参数，其售后服务应满足：（1）不论质保期内外，卖方应当提供7*24小时电话支持服务；（2）质保期内因产品质量出现问题，买方有权要求卖方予以无条件维修、更换或退货；（3）质保期内所有的配件和人工费用由厂家承担；（4）厂商应及时免费提供合同货物软件的升级，免费提供合同货物新功能和应用的资料；（5）质保期届满后，卖方仍对本合同项下货物提供有偿服务，且****维修部件的市场成本价费用，服务内容应与质保期内的要求相一致。