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微波等离子体化学气相沉积
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4500000.00
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***********公司企业信息
****2024年11至6月政府采购意向-微波等离子体化学气相沉积 详细情况
| 微波等离子体化学气相沉积 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年11至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 微波等离子体化学气相沉积 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****2402-真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 申请采购一台微波等离子体化学气相沉积系统。主要用于制备大尺寸金刚石高纯单晶、掺杂半导体单晶、光学级金刚石多晶窗口、电子级金刚石单晶样品等。 采购数量为1套。采购的微波等离子体化学气相沉积系统需包含以下功能模块：（1）干泵，1台（2）分子泵，1台，（3）微波源，1套，（4）红外高温计，1个，（5）气路，4路，（6）样品台，1套，（7）控制系统及软件。采购的微波等离子体化学气相沉积系统达到的主要性能如下：（1）2.45GHz微波源，最大功率6kW，泄漏率≤5mW/cm2。（2）最佳真空度≤3*10-7 mBar。（3）工艺气压不小于240mbar，可以高速率生长单晶。（4）标准配置4条气路，可增加至7条（流量10-5000sccm）。（5）双色红外高温计测试样品表面温度，范围 475-1475°C可调。（6）生长样品过程中样品台高度电动可调，精度优于10μm。 采购设备需满足相应设备技术参数中的各项指标，产品质量达到设计要求，安装调试各项指标符合招标技术参数，其售后服务应满足：（1）不论质保期内外，卖方应当提供7*24小时电话支持服务；（2）质保期内因产品质量出现问题，买方有权要求卖方予以无条件维修、更换或退货；（3）质保期内所有的配件和人工费用由厂家承担；（4）厂商应及时免费提供合同货物软件的升级，免费提供合同货物新功能和应用的资料；（5）质保期届满后，卖方仍对本合同项下货物提供有偿服务，且****维修部件的市场成本价费用，服务内容应与质保期内的要求相一致。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招标进度跟踪
2024-09-27
招标预告
微波等离子体化学气相沉积
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