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掩模CD量测设备 | |
项目所在采购意向: | ****2024年9至12月政府采购意向 |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 掩模CD量测设备 |
预算金额: | 750.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****0803光电测量仪器 |
采购需求概况 : | 在掩模版的众多技术参数中,CD尺寸(一致性)和套刻精度是最关键的两个技术参数。通过测量不通位置和图形的CD尺寸,可以评估与CD相关的多个指标及边缘粗糙度、线性度、对准精度等参数,是掩模版工艺验证的重要设备。 |
预计采购时间: | 2024-10 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。