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SG202****292001探针台 | **艾维特 | 96000.00 | 87550.00 | 按行业标准提供服务 | 样品台直径要优于:150mm,平整度要优于:1μm,可360度旋转,方便点测时样品在X-Y轴向上调平。(旋转角度可微调,微调精度为0.1度,带角度锁定旋钮)。③卡盘X,Y轴调节旋钮可以控制X-Y方向的移动,移动范围为6"×6",移动精度为1微米,配合针座的移动可以保证wafer上的die都能够准确点测到。显微镜规格:光学系统内,可以连续变焦;至少包含有长工作距离物镜:5X ;包含有两个目镜,显微镜可以单独在X、Y、Z方向微调,调节范围至少优于6×6寸,调节精度为10微米; 包含有1080P的高精度CCD和高分辨率显示器,。配置有8套:0.7微米精度探针座,磁场可以关闭和开启;配置有机械顶丝固定探针,铜杆镀金无磁化设计的LJ-100T管状测试夹具8套;最高电压1000V,最大电流1A,电流分辨率10fA,系统可以进行IV和CV测试。配置一套超高导磁光电屏蔽箱,使用无静电工艺处理,表面平面度:≤1mm;至少配置有一套光源系统(光强连续可调谐);配置有TNC转TNC连接头8组,,7078-5线缆8条,必须要包含真空泵一套;1200*800的阻尼光学平台一套。 | 1.0 | LABIV-6 | 87550.00 | **** |