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高通量脉冲激光沉积系统
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****2024年12月政府采购意向-高通量脉冲激光沉积系统 详细情况
| 高通量脉冲激光沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 高通量脉冲激光沉积系统 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****2402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟建设系统是在衬底加热的条件下，实现一定范围氧压氛围内多元复杂氧化物薄膜的生长、原位质量监控与编程可控的薄膜高通量生长。主要涉及的参数包括背底真空、高温下背底真空、氧气氛围下的压强可控范围、基片温度范围、升温速率、反射式电子衍射使用压强范围、靶材数量、靶间距、激光能量密度等。 需要包含如下主系统和配件 沉积腔体程控系统 1套 多靶材操作系统 2套 衬底加热系统 2套 反射式高能电子衍射仪 1套 加载互锁传送真空室 1套 准分子激光器与配套光路 1套 臭氧发生器 1套 一维掩膜板装置 1套 |
| 预计采购时间： | 2024-12 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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2024-10-30
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