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离子溅射仪 | 1.0/台 | JEOL | JEC-3000FC | 1. 概述 此次购买的喷金仪是为JSM-IT800场发射扫描电子显微镜配套制样的辅助设备,主要用于为不导电样品喷金喷铂金使用。 2. 规格技术要求 2.1 溅射方式:磁控溅射 *2.2 工作气压:20Pa及以下,真空度高,喷金颗粒细腻,扫描电镜画质细腻。 2.3 溅射束流:10,20,30,40mA *2.4 靶材:Pt (标配,直径57 mm) 2.5 样品座直径:64mm,样品座尺寸大,一次性可以放入多个样品,效率高。 *2.6 真空罩尺寸:120mm(直径)*100mm(高) 2.7 真空计:皮拉宁规,真空计精确。 2.8 计时:数字显示(1~300s),精确到秒可以精确控制喷金时间。 2.9 气体控制:包含,操作简单。 2.10 氩气清洗功能:包含,方便使用维护。 2.11 高压安全系统:包含,使用安全。 2.12 真空系统:RP(100L/min),抽速快,整个喷金过程效率高。 | 按行业标准提供服务 |