[HF20243310]MEMS阵列工艺加工成交公告

发布时间: 2024年11月05日
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1.项目名称:MEMS阵列工艺加工

2.成交供应商名称:****

3.成交供应商地址:**市**区双**1号楼一层116

4.成交金额(币种):12.500万元

5.付款方式:务完成且验收合格后10个工作日之内付合同金额100%

6.主要成交标的:

序号

服务内容

服务期限

1

单面/双面光刻,图形转移

2024.****.20-2024.****.15

2

深硅刻蚀,刻蚀深度2/8um

2024.****.20-2024.****.15

3

溅射金属 Ti/Pt/Au

2024.****.20-2024.****.15

4 阳极对准键合、KOH 减薄 2024.****.20-2024.****.15

****

2024年11月04日

招标进度跟踪
2024-11-05
中标通知
[HF20243310]MEMS阵列工艺加工成交公告
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