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1.项目名称:MEMS月震计光刻显影及金属镀膜工艺加工
2.成交供应商名称:****
3.成交供应商地址:中国(**)自由贸易试验区**片区**区长青乡兴华**侧H-2路西侧智能显示产业园内6#厂房
4.成交金额(币种):18.840万元
5.付款方式:合同签订后15个工作日之内预付合同金额的30%,服务完成且验收合格后付合同金额70%,
序号 | 服务内容 | 服务期限 |
1 | 技术指标: (1)光刻精度:1um (2)光刻胶厚度:>10um; (3)金属镀膜厚度误差:±50nm; 晶圆数量:12个 | 三个月 |
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2024年11月06日