中北大学感应耦合等离子体刻蚀系统等仪器采购公开招标公告

项目概况

****感应耦合等离子体刻蚀系统等仪器采购项目的潜****政府采购平台（https://login.****.cn/user-login/#/login）上获取招标文件，并于2024年11月28日9点00分（**时间）前在“**政府采购平台”投标人端提交投标文件。

序号

标的名称

数量

单位

简要技术需求

备注

1

感应耦合等离子体刻蚀系统等仪器采购

1

套

该系统由碳化硅刻蚀设备、深硅刻蚀设备、辅助特气设备及刻蚀掩膜图形化设备四部分构成，可用于实现SiC、Si、Poly-Si、SiO2、Si3N4等材料刻蚀，要求如下：

1、射频功率：0-3000W；

2、样品尺寸：6 英寸，向下兼容；

3、刻蚀速率及刻蚀不均匀性：0.01~0.4μm/min；刻蚀不均匀性优于±5%；

4、终点监测激光波长：670 nm；

5、制冷温度范围：-30℃~80℃；

6、刻蚀材料：III-V族半导体、SiO2、Poly-Si、Si、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等；

7、支持气体：Cl2、BCl3、HBr、SF6、CHF3、CH4、H2、Ar、N2等。

是否允许代理商参加

是

是否接受联合体参加

否

是否允许合同分包

否

交货时间

合同签订后120日内将所有货物交付到****校内采购人指定地点。

履约地点

****学院路3号****校内采购人指定地点。

付款方式

合同签订后，预付合同金额的 80 %，设备交付到现场后预付合同金额的18 %，现场安装、调试验收合格中标商提供增值税专用发票后，支付合同金额的2%。

履约保证金

1、本项目要求中标供应商提交履约保证金。

2、中标供应商收到中标通知书后，签订合同前向采购人提交合同额5%的履约保证金。

3、提交履约保证金按照采购人的要求以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。

4、中标供应商合同主要义务履行完毕，中标供应商缴纳的履约保证金自项目验收合格之日起 10 个工作日内采购人无息退还。

执行标准及验收标准

详见招标文件内商务、技术要求。

服务要求

详见招标文件内商务、技术要求。

相关政策要求

详见招标文件内商务、技术要求。

序号

标的名称

数量

单位

简要技术需求

备注

1

可见至近红外高通量光谱系统

1

套

主要指标

1、焦距：≥498mm；

2、波长检测范围：300~1700nm；

3、分辨率≤0.1nm (@1200g/mm标准测试条件20μm狭缝)；

4、采样率≥50 fps@100kHz(FVB)；

5、可见探测器峰值量子效率：≥95%。

2

超宽频声场标定测试系统

1

套

★1、水声频率范围：10 Hz至1 MHz

2、动态范围：1mPa-10kPa

3、全带宽自噪声：≤1Paê

4、灵敏度：≥3mV/Paê

5、输出阻抗：50Ω

6、全触摸屏操作ê

7、采集和分析软件ê

是否允许代理商参加

是

是否接受联合体参加

否

是否允许合同分包

否

交货时间

合同签订后120日内将所有货物交付到****校内采购人指定地点。

履约地点

****学院路3号****校内采购人指定地点。

付款方式

合同签订后，预付合同金额的 80 %，设备交付到现场后预付合同金额的18 %，现场安装、调试验收合格中标商提供增值税专用发票后，支付合同金额的2%。

履约保证金

1、本项目要求中标供应商提交履约保证金。

2、中标供应商收到中标通知书后，签订合同前向采购人提交合同额5%的履约保证金。

3、提交履约保证金按照采购人的要求以支票、汇票、本票或者金融机构、担保机构出具的保函等非现金形式提交。

4、中标供应商合同主要义务履行完毕，中标供应商缴纳的履约保证金自项目验收合格之日起 10 个工作日内采购人无息退还。

执行标准及验收标准

详见招标文件内商务、技术要求。

服务要求

详见招标文件内商务、技术要求。

相关政策要求

详见招标文件内商务、技术要求。