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MEMS加工平台
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4700000.00
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***********公司企业信息
****2024年11月政府采购意向-MEMS加工平台 详细情况
| MEMS加工平台 | |
| 项目所在采购意向： | ****2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | MEMS加工平台 |
| 预算金额： | 470.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A****0699 其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 本项目采购MEMS加工平台1套，主要功能包括光刻胶固化、曝光、显影，金属材料蒸镀，薄膜材料原子层沉积等，可实现从材料到器件的MEMS加工工艺流程，可用于气敏传感器等MEMS器件的加工制备。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
招标进度跟踪
2024-11-08
2024-11-08
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