全自动一体式多靶磁控溅射镀膜机（XF-WSBX-2400569）采购公告

项目名称

全自动一体式多靶磁控溅射镀膜机

项目编号

****

公告开始日期

2024-11-11 10:31:45

公告截止日期

2024-11-18 11:00:00

采购单位

****

付款方式

货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额

联系人

成交后在我参与的项目中查看

联系电话

成交后在我参与的项目中查看

签约时间要求

成交后5个工作日内

到货时间要求

成交后30个工作日内

预算总价

￥ 300,000.00

收货地址

**省**市**区**塘路866号******港开物苑3-317

供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品

采购数量

计量单位

所属分类

全自动一体式磁控溅射镀膜机

1

台

电气物理设备

预算单价

￥ 300,000.00

技术参数及配置要求

溅射室极限真空度：≤6.6x10-5 Pa；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；系统从大气开始抽气：溅射室35分钟可达到6.6x10-4 Pa；系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa；3套60mm高性能永磁共焦磁控溅射靶；最大直径100mm样品；系统配有2台国产数字式500w直流电源和1台500w全自动匹配射频电源国产电源,1台国产数字式-1000V直流脉冲偏压电源；4路国产流量计MFC控制进气系统（Ar、N2、O2、CH4），流量分别为100SCCM、50SCCM、20SCCM、50SCCM；膜厚均匀性（200nm厚±5%）；加热温度：室温—600°C；基片公转由调速电机驱动，转动速度0—30转/分连续可调；磁控靶与基片的距离可调，调节距离为：90~130mm

售后服务

服务网点:当地;电话支持:7x24小时;质保期:3年;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;