开启全网商机
登录/注册
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
收货地址****南岭校区立宁真空 | ||
LN-FS1033 | ||
1.蒸镀腔为方形腔体,尺寸大致为500mm×500mm×650mm。 2.蒸镀腔可与手套箱连接,可在手套箱中直接取放基片和添加镀料等操作。 3.抽气系统采用分子泵(抽速:1300L/S)+机械泵(抽速:30m3/h)组合 4.腔体的极限真空为8x10-5Pa,在保护下重新抽真空可在12分钟内达到的真空度为:5x10-4Pa。 5.基片架同时放置6个基片(32*26mm),每个基片可更换2种掩膜图形,且掩膜和基片的间隙为0。 6.蒸镀腔中有3套有机蒸发源。1套有机蒸发电源。最高温度可达800℃。 7.蒸镀腔中有3个金属蒸发源。1套金属蒸发电源。最大功率为1.6Kw(电流200A,电压8V)。 两通道INFICON膜厚仪SQC-310,2套水冷检测探头。 | ||
保修期:1年 |
****
2024-11-13 13:32:46