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三温区低压化学气相沉积系统（JJ24001047）采购公告

公告-招标公告

辽宁 -沈阳

发布时间： 2024年11月13日

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

三温区低压化学气相沉积系统	****
2024-11-13 14:31:52	2024-11-18 16:00:00
****

	签约后3个工作日内
￥110000.00




老校部104
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

三温区低压化学气相沉积系统

台

其他专用仪器仪表

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

贝意克

BTF-1200C-III-SL

￥ 110000.00

1、三温区CVD系统由三温区滑轨炉、四路供气系统和低真空机组构成 1.1三温区滑轨炉一套 1.1.1额定功率：6KW 1.1.2额定电压：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz 1.1.3最高温度：1200℃（1 hour） 1.1.4持续工作温度：≤1100℃ 1.1.5推荐升温速率：≤30℃/min 1.1.6炉管尺寸：Φ100mm*1850mm 1.1.7加热区长度：200+200+200mm 1.1.8恒温区长度：350mm 1.1.9滑动方式：手动式（手动自由移动炉体） 1.1.10控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 1.1.11控温精度：±1℃ 1.1.12标准配件：石英管1支，莫来石管堵1对，不锈钢横向卡箍法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支 1.1.13所有法兰和管道材质为316L不锈钢 1.1.14密封系统：炉管两端配有金属密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式**嘴接头）端口可按实际使用扩展。 1.2 四路供气系统一套 1.2.1工作电压：185~245V，50 Hz 1.2.2最大输出功率：18W 1.2.3流量计标准量程：HCl用500ml的，O2用300ml，N2用20L（非特殊指定以氮气标定，量程可选），NH31000ml。 1.2.4工作温度：4~45℃ 1.2.5工作压差：0.1~0.5Mpa 1.2.6最大压力：3Mpa 1.2.7准确度：±1.5%F.S 1.2.8压力表测量范围：0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） 1.2.9针阀：316不锈钢 1.2.10混气罐：Φ80*120mm 1.2.11截止阀：Φ6mm 1.3低真空机组一套 1.3.1空气相对湿度≤85% 1.3.2工作电电压：220V±10% 50~60HZ 1.3.3功率：≤1千瓦 1.3.4抽气速率：≥10m3/h 1.3.5真空度（冷态空载）：≤0.5Pa 1.3.6容油量：≥1.1L 1.3.7进气口口径：KF25 1.3.8排气口口径：KF25 1.3.9转速：≥1450rpm 1.3.10噪音：≤50dB 1.3.11真空计配用规管：ZJ-52T电阻规， 1.3.12真空计测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 1.3.13真空计测量路数： 1路 1.3.14真空计控制范围： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 1.3.15真空计控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载， 1.3.16真空计电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 1.3.18真空计功耗： ≥20W 二、质保期炉体质保1年，货到工程师上门安装调试培训，所有设备每年免费检修一次

招标进度跟踪

2024-11-19

中标通知

三温区低压化学气相沉积系统（JJ24001047）成交结果公告

2024-11-13

招标公告

三温区低压化学气相沉积系统（JJ24001047）采购公告

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