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硅烷特气存储柜 | 1.0/ | 190000.0 | / | SiH4-2 | (1)适用于SiH4 (2)全自动型双工艺钢瓶; (3)全自动供气、自动吹扫、自动抽真空; (4)紧急关断及低压抽真空装置; (5)自动保压; (6)入口垫片式过滤器; (7)出口在线式过滤器; (8)高压端压力传感器; (9)低压端压力传感器; (10)真空端压力传感器; (11)PLC控制,10寸触摸屏显示; (12)烟感探头; (13)火焰探测器; (14)硅烷传感器; (15)消防喷淋; (16)碳钢烤漆防爆柜体加防爆可视窗,进风口 加装过滤棉,抽风口带风阀; (17)柜体普通负压计; (18)通讯方式为以太网通讯; (19)主要部件品牌要求:调压阀:Aptech;隔膜阀/气动阀:Fujikin;焊接配件:Unilok;压力表/压力传感器:Winters;PLC:西门霍尼韦尔子; 过滤器:Pall;硅烷探测器:霍林维尔 | 质保一年,上门安装、测试与用户培训。 |