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深圳大学 - 竞价公告（CB105902024001761）
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199000.00
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**** - 竞价公告（****）
发布时间：2024-11-15 15:32:13 截止时间：2024-11-23 12:00:00
申购主题： 高真空磁控溅射镀膜机
报价要求： 国产含税
发票类型： 增值税专用发票
付款方式： 货到验收合格后付款
收货地址： **省/**市/**区/****
供应商资质：
备注说明：
送货时间： 合同签订后 10 天内送达
安装要求： 免费上门安装（含材料费）
预算： 199000.0人民币
| 高真空磁控溅射镀膜机 | 1.0/ | 199000.0 | 智诚 | ZC-2B | 1、溅射室极限真空度：≤5.0x10-5Pa(经烘烤除气后) 2、系统真空检漏漏率：≤5.0x10-8Pa.l/S 3、系统从大气开始抽气：腔室30分钟可达到8.0x10-4 Pa(空载）氮气 4、系统停泵关机12小时后真空度：≤8Pa 5、样品台：最大装载样品3英寸，也可在3英寸范围内分割成若干个小样片 7、基片公转由调速电机驱动，0-35转/分，连续可调 8、磁控溅射靶要求溅射靶角度可调，永磁间接水冷式，支持直流、射频电源溅射；靶角度、高度可调，靶基距调整范围60-110mm，从腔室两侧进入满足立体样品6个面镀膜 9、真空室为方形腔体1套，前后开门结构，腔体尺寸：约Φ510(mm)×L500×500（mm），真空腔能和1200+双小腔手套箱配合使用 10、样品可旋转：电动旋转，转速：0-35rpm，转速在线可调。可升降：电动升降，升降范围：±25mm 11、低噪音机械泵：8L/S 12、复合分子泵：620L/S 13、插板阀（电动）：CF-150 14、数显复合真空计（一低一高）; 15、磁控溅射靶尺寸：3英寸2只 16、射频溅射电源：500W2台 17、质量流量控制器：2只（氩气和氢气） 18、照明系统：1套。 19、水冷却循环系统：1 台 20、智能数显水冷机：1 台 制冷量：2.85KW（1P） 21、PLC+10寸触屏控制系统：1套 | 现场安装、调试、用户培训保修期一年 |
招标进度跟踪
2024-11-15
招标公告
深圳大学 - 竞价公告（CB105902024001761）
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