小型磁控溅射镀膜机采购结果公告

发布时间: 2024年11月20日
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申购单主题: 小型磁控溅射镀膜机 申购单位: ****
申购备注:
设备名称 品牌 型号 数量 报价类型 售后服务
小型磁控溅射镀膜机 PD 200C 1 国内含税价/人民币
规格 1.真空镀膜室:304不锈钢材料,圆柱式,门上配有观察窗;镀膜室内净尺寸约为:300*300*H300mm。 2.真空系统:机械泵+脂润滑分子泵,极限真空:优于8*10-5 Pa;工作真空8*10-4pa以下,抽真空时间少于35分钟。 3.真空极限:优于8*10-5 Pa。 4.旋转加热基片台:承载最大直径75mm基片;基片台磁流体密封,电机驱动基片台旋转,旋转速度0-20转/分钟可调;配挡板。样品台加热温度室温-350℃。 5.均匀性:75mm直径范围内不均匀性≤±5%。 6.控制方式:西门子PLC+西门子触摸屏手自动控制系统。 7.直流溅射电源:功率500W。
中标供应商 单价 初选理由
**** 148000 最低价原则
招标进度跟踪
2024-11-20
中标通知
小型磁控溅射镀膜机采购结果公告
当前信息
2024-11-11
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