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第三代半导体碳化硅衬底、晶圆检测装备研发与产业化项目

审批

湖北-武汉

发布时间： 2024年11月20日

项目详情

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项目名称	第三代半导体碳化硅衬底、晶圆检测装备研发与产业化项目
建设内容及规模	本****实验室2000平方米，购置/试制椭偏仪、碳化硅晶圆检测光源测试平台等仪器设备45台套，研发第三代半导体碳化硅衬底、晶圆检测装备，以提高检测精度和效率，降低检测成本，提升晶圆成品良率，并实现产业化，形成年产15台套半导体碳化硅衬底、晶圆检测装备的生产能力。
项目代码		项目单位	****
法人代表姓名	马新强	项目单位性质	国有及国有控股企业
所属行政区划	省/市/****开发区	项目所属行业	工业/机械
总投资	5000	建设性质	技改及其他
拟开工时间	2025-01	备案证状态	尚未审核
申报日期	2024-11-20 11:36:00

温馨提示

1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。

2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。

3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。

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