全反射X射线荧光光谱仪（TXRF）-公开招标公告

招标公告

全反射X射线荧光光谱仪（TXRF）项目已具备招标条件。资金来源为100%国拨资金。****（招标代理机构）受****（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物名称：全反射X射线荧光光谱仪（TXRF）

1.2 招标编号：****

1.3 主要功能要求：主要用于辅助实现晶圆生产、加工工艺过程质量监控，也可用于工艺设备的金属沾污分析。该设备激发产生的X射线以很低的角度（如0.05°）入射到晶圆表面，激发出荧光，对荧光进行能谱分析及强度计算，从而分析出晶圆表面各元素的沾污量。须具备广泛的元素分析范围，元素分析范围包含11Na~99U中的部分碱金属元素、过渡金属元素和重金属元素，至少包含对钠、铝、钾、钙、钛、铬、铁、镍、铜、锌、银、镉、钨、铂、金、汞、铅元素的检测能力。

1.4 数量：1台。

1.5 交货期：合同生效后10个月内。

1.6 项目现场：**市**区西永大道23号****。

2. 对投标人的资格要求

2.1投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2本次招标接受代理商投标，投标人如果为代理商，必须获得制造商的合法授权，提供授权书。

2.3本次招标不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3. 招标文件获取

3.1凡有意参加投标者，请于2024年11月21日至2024年11月28日17时(**时间)，登陆中招联合招标采购平台（网址：www.****.cn,注册操作咨询电话010-****7110）购买并下载招标文件，现场不予受理。

3.2 招标文件每套售价人民币800元(从中招联合招标采购平台下载标书款电子发票)，售后不退。

4. 投标文件的递交

4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2024年12月12日14时00分，****酒店会议室（**市**区西永大道36号）。

4.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

5. 开标

开标时间同投标文件递交的截止时间，开标地点同投标文件递交地点。

6. 发布公告的媒介

本次招标公告同时在中国招标投标公共服务平台、中国国际招标网、中招联合招标采购平台上发布。

7.联系方式

招标人名称：****

地址：**市**区西永大道23号

联系人：吴先生

电话： 023-****0107

招标代理机构名称：****

地址：**市**区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼

联系人：李经理

电话：028-****6520

项目负责人：唐玲

电子邮件：****@zonkex.com