北航集成电路科学与工程学院晶片光纤光学抛光仪设备采购公告

发布时间: 2024年11月25日
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****晶片光纤光学抛光仪设备采购公告 发布日期:2024-11-25

1. 采购货物有关信息

1、采购货物相关信息:

(1)货物名称:晶片光纤光学抛光仪设备

(2)技术指标:

研磨后:4寸晶圆(TTV)在±3um以内;

抛光后:4寸晶圆(TTV)±2um以内;

抛光后:光纤、晶片,表面粗糙度 Ra≤1nm。

序号

货物/服务名称

详细参数要求

1



硬件和性能参数

1.主机:桌面式研磨抛光一体机,要求全封闭主机。

*2.主机需配置两套夹具,一套用于4英寸及以下晶圆的磨抛使用,其中包含小片及碎片,一套用于光纤和芯片垂直端面磨抛使用,光纤角度可以由夹具定义,对光纤端面、芯片平面、端面等规则晶圆或不规则晶圆的研磨抛光;

3.主机需配置无刻槽铸铁盘、刻槽铸铁盘和抛光盘;

4.主机内置水气枪。采用微电脑数字化控制,触屏界面操控。

5.工作区设有安全保护门,在未关闭的情况下,设备无法启动;

6.工艺参数可以储存及调用,确保工艺的一致性和重复性;

*7.光纤和晶圆端面磨抛需根据用户样品尺寸定制卡具,并可固定在夹具上,角度控制在±0.2°。

8.夹具的转动具有独立驱动,转速连续可调,范围不小于5~100rpm,同时夹具具有摆动功能,摆动幅度可调节,通过触控界面方便的操控;

*9.研磨盘或抛光盘转速可调,范围不小于5~100rpm;

10.主机内部需配有进料单元,带有在线搅拌功能,且采用蠕动泵控制滴流料液,滴流速度1-100ml/min连续可调。

11.研磨定时达到后设备停止运转;

12.化学机械抛光定时达到后设备继续运转。



2

售后服务


售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系,供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。

投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。

2、在保质期以内,投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应,24小时内派出有能力的维修人员****维修处理(若用户提出新的要求,在招标文件的采购设备清单中特别提出)。

3、在保质期满后,投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务,当发生故障时,投标人应按保质期****维修处理,合理收取维修费。

4、质保期2年。

5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。


(3)数量:

序号

产品

数量/单位

1

晶片光纤光学抛光仪设备

1套

(4)交货期:合同签订后6个月内

(5)交货地点:****学院路37号第一馆

(6)是否接受进口产品:否

2、采购预算(最高限价):99 万

3、参选单位资格要求:

(1)在中华人民**国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;

(2)响应人(供应商)应具备《****政府采购法》第二十二条规定;

① 具有独立承担民事责任的能力;

② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

(3)本项目不接受联合体响应;

(4)本项目不允许转包、分包;

(5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”****政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;

(6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。

4、报名方式及截止时间:

报名方式:****公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱bhsme@buaa.****.cn。截止报名时间:2024年11月28日17时。

5、竞价会时间及方式:

时间:2024年11月30日;方式:采取视频会议方式。具体****学院****办公室进一步通知。

6、参加竞价会所需提供材料:

11月29日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄至以下地址:

地址:**市海****大学北区第一馆

雷老师收,手机号:188****3236

7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):

雷老师,邮箱:leilei213@buaa.****.cn

8、****小组办公室联系方式(异议或投诉):

邵老师,bhsme@buaa.****.cn或010-****6712(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)



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