1. 采购货物有关信息
1、采购货物相关信息:
(1)货物名称:晶片光纤光学抛光仪设备
(2)技术指标:
研磨后:4寸晶圆(TTV)在±3um以内;
抛光后:4寸晶圆(TTV)±2um以内;
抛光后:光纤、晶片,表面粗糙度 Ra≤1nm。
序号 | 货物/服务名称 | 详细参数要求 |
1 | ||
硬件和性能参数 | 1.主机:桌面式研磨抛光一体机,要求全封闭主机。 *2.主机需配置两套夹具,一套用于4英寸及以下晶圆的磨抛使用,其中包含小片及碎片,一套用于光纤和芯片垂直端面磨抛使用,光纤角度可以由夹具定义,对光纤端面、芯片平面、端面等规则晶圆或不规则晶圆的研磨抛光; 3.主机需配置无刻槽铸铁盘、刻槽铸铁盘和抛光盘; 4.主机内置水气枪。采用微电脑数字化控制,触屏界面操控。 5.工作区设有安全保护门,在未关闭的情况下,设备无法启动; 6.工艺参数可以储存及调用,确保工艺的一致性和重复性; *7.光纤和晶圆端面磨抛需根据用户样品尺寸定制卡具,并可固定在夹具上,角度控制在±0.2°。 8.夹具的转动具有独立驱动,转速连续可调,范围不小于5~100rpm,同时夹具具有摆动功能,摆动幅度可调节,通过触控界面方便的操控; *9.研磨盘或抛光盘转速可调,范围不小于5~100rpm; 10.主机内部需配有进料单元,带有在线搅拌功能,且采用蠕动泵控制滴流料液,滴流速度1-100ml/min连续可调。 11.研磨定时达到后设备停止运转; 12.化学机械抛光定时达到后设备继续运转。 | |
2 | 售后服务 | |
售后服务 | 1、供应商应具备完善的售后服务体系,供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。 投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。 2、在保质期以内,投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应,24小时内派出有能力的维修人员****维修处理(若用户提出新的要求,在招标文件的采购设备清单中特别提出)。 3、在保质期满后,投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务,当发生故障时,投标人应按保质期****维修处理,合理收取维修费。 4、质保期2年。 5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。 |
(3)数量:
序号 | 产品 | 数量/单位 |
1 | 晶片光纤光学抛光仪设备 | 1套 |
(4)交货期:合同签订后6个月内
(5)交货地点:****学院路37号第一馆
(6)是否接受进口产品:否
2、采购预算(最高限价):99 万
3、参选单位资格要求:
(1)在中华人民**国境内注册、响应招标、参加响应竞争的法人、其他组织或者自然人;
(2)响应人(供应商)应具备《****政府采购法》第二十二条规定;
① 具有独立承担民事责任的能力;
② 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;
③ 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;
(3)本项目不接受联合体响应;
(4)本项目不允许转包、分包;
(5)近三年内,本项目响应截止期前,被“信用中国”网站列入失信被执行人和重大税收违法案件当事人名单的、被“中国政府采购网”****政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期限尚未届满的),不得参与本项目;
(6)法律、行政法规关于“合格响应人”的其他条件。
4、报名方式及截止时间:
报名方式:****公司名称、地址、营业执照扫描件、销售人员姓名、联系方式等)发送至邮箱bhsme@buaa.****.cn。截止报名时间:2024年11月28日17时。
5、竞价会时间及方式:
时间:2024年11月30日;方式:采取视频会议方式。具体****学院****办公室进一步通知。
6、参加竞价会所需提供材料:
11月29日18:00前,参选供应商需将正式书面报价单和报名资料(均需加盖单位公章并密封好)邮寄至以下地址:
地址:**市海****大学北区第一馆
雷老师收,手机号:188****3236
7、采购项目经办人联系方式(采购项目咨询):
雷老师,邮箱:leilei213@buaa.****.cn
8、****小组办公室联系方式(异议或投诉):
邵老师,bhsme@buaa.****.cn或010-****6712(上午9点-11:30;下午14:30-17:00)