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磁控溅射镀膜设备（清采比选20241764号）采购公告

公告-招标公告

北京 -北京-北京市

发布时间： 2024年11月25日

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磁控溅射镀膜设备

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

磁控溅射镀膜设备	****
2024-11-25 18:35:11	2024-11-28 19:00:00
****	合同签订后50%，验收合格后50%

	签订合同后3个工作日内
￥ 170000.00




市**
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单index

采购商品采购数量计量单位所属分类

磁控溅射镀膜设备

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 170000.00

1、真空室腔体：1 套 1) 外形：304 优质不锈钢方型前开门真空室腔体 1 套（内部尺寸 400*450mm 暂定，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封）（通过烘烤照明灯管可实现内烘烤 100～150℃）前后门配 DN100 视窗 1 套； 2) 底部：4 英寸磁控靶接口套，600L/S 分子泵接口 1 套，CF25 照明接口 2 套； 3) 顶部：样品台接口 1 套，气动挡板接口 1 套； 4) 左侧：KF40 气动预抽角阀接口 1 套，KF16 气动放气阀接口 1 套。 2、真空室腔体：1 套 1) 外形：304 优质不锈钢真空室腔体 1 套（内部尺寸 300*40mm 暂定，氩弧焊接，表面进行电化学抛光钝化处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封）前、后门，门配 DN100视窗 1 套； 2) 左侧：KF25 气动预抽角阀接口 1 套，KF16 气动放气阀接口 1 套。 3、磁控溅射系统：1 套 1) 磁控靶：4 英寸永磁靶 1 套，预留一个 4 寸靶位； 2) 磁控靶电源：射频电源（500W）1 台； 3) 溅距：靶与样品距离 80～180mm 手动连续可调，并有调位距离指示； 4) 隔离：靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染。 4、样品台系统：1 套 1) 可升降，可旋转（采用步进电机联动，转速 0～20 转／分连续可调）； 2) 托架：样品托架 4 寸（根据客户要求调节）； 3) 挡板：样品托架气动挡板。 5、真空泵机组：1 套 1) 600L/S 水冷脂润滑分子泵 1 台； 2) 8L/S 旋片泵 1 台； 3) CF150 高真空电动插板阀 1 台； 4) KF40 高真空气动挡板阀 2 台； 5) KF16 高真空气动挡板阀 1 台； 6) KF40 泵阀连接软管 1 套，KF40 三通 1 套； 7) 复合真空计 1 台

36个月

招标进度跟踪

2024-11-25

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