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双靶离子溅射仪 | 1.0/ | 速普仪器 | J20 | 1. 真空泵:高性能旋片泵+金属油污过滤器 2. 抽速:≥4^3/h 3. 极限真空:1 Pa 4. 工作气压:4-10 Pa,可恒压控制 5. 抽真空时间:<3-5min 6. 真空计:皮拉尼真空计 7. 腔体:标配 Φ150*120mm 铝合金腔体(内尺寸:Φ135*120mm) 8.* 金属腔体自动旋转偏转样品台:Φ75mm可实现自动旋转偏转功能,偏转角度和转速可数字显示体现,旋转转速:10-60RPM可调,偏转角度:±40度可调,靶基距45-65mm连续可调 ,配备5工位行星台,最少支持20个钉台样品同时喷金制样 9. 溅射靶材:标配 Φ 30 0.2mm Pt靶和Au靶各一只 10. 溅射电源:恒功率DC溅射电源 Max. 20W, Max. 100mA, 0-800V 11. 溅射时长:≤600S 12. *操作方式:触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能,样品喷金结束可自动保压 13.*可提供不同类别样品喷金典型工艺参数 14. 功耗:<500W。 品牌和型号仅供参考,有符合技术参数的其它产品也可以报名。需提供盖章扫描件的报价单,注明品牌和型号,是否响应规格参数要求,否则无效 | 按行业标准提供服务 |