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匀胶机 | sps | 67000.00 | 58000.00 | 按行业标准提供服务,质保期1年 | [{"key":"1","value":"1. 转动速度至少满足0-12,000rpm,旋涂加速度至少满足0- 12,000rpm/sec, 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%。\n2. 工艺时间设定范围至少满足1-5999.9 sec/step ,精度不超过0.1s,可存储不少于20个程序段,每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态,配有高精度PLC可编程的控制器;分辨率不超过1RPM,重复性误差不超过1RPM。\n3.配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;真空吸附范围至少满足25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节,抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) 。\n4. 托盘:6英寸向下兼容。\n5. 配置基于Windows的操作软件,配置密封圈,至少配有两套可更换的废液接收单元。\n6. 旋转马达进行气流保护系统,具有智能嵌锁装置。","important":true}] | 1.0 | 150i | 58000.00 | **** |