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真空三轴纳米定位台(闭环控制)+控制器 | NATORS(本地化售后服务) | 150000.00 | 按行业标准提供服务(提供本地化安装调试及售后服务) | 真空三轴纳米定位台 型号:MLS-1720-CL-HV-3D 描述:兼容真空(1E-6mbar) 轴数:3 步进行程[mm]:12x12x12 XY轴 最大负载[N]:10 Z轴最大负载[N]:1 闭环最大速度[mm/s]:1 闭环定位分辨率[nm]:5 数量:4 不包含真空插头,法兰以及馈通 控制器: 型号: ND-E 通道数:3 支持PC端二次编程 细分盒:3通道 适配电源线 数量:4 | 1.0台(套) | MLS-1720-CL-HV-3D | 150000.00 | **** |