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330000 |
2024-12-15 | 公示截止日期2024-12-16 14:29:48 | |
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到货时间要求 | ||
****中心校区新一代半导体材料研究东临时建筑 |
激光加工平台 | 1 | 台 |
航天三江 | 规格型号SD-FA08EC | |
X轴:负载20kg;有效行程600mm;重复精度≤±1μm;补偿后定位精度≤±1.5μm;水平直线度≤5μm;平行度≤5μm;分辨率0.1μm;最大速度800mm/s;最大加速度10m/s2;原点及限位为正负限位及原点感应器。 Y轴:负载140kg;有效行程 800mm;重复精度≤±1μm;补偿后定位精度≤±1.5μm;水平直线度≤4μm;分辨率0.1μm;最大速度400mm/s;最大加速度6m/s2;原点及限位为正负限位及原点感应器。 Z轴:负载25kg;有效行程100mm;重复精度≤±1μm;补偿后定位精度≤±2μm;分辨率0.1μm;最大速度200mm/s;最大加速度 10m/s2;原点及限位为正负限位及原点感应器;安装后垂直精度:5μm。 旋转轴:负载15kg;有效行程360°;重复精度≤±3arcsec;垂直直线度为轴向跳动≤4μm;分辨率****380pls/rev;最大速度1.5rev/s;最大加速度15rev/s2。 组合精度:平台组合后DD马达平面度为小于12μm。 | ||
服务网点:当地;质保期限:1年;响应期限:报修后12小时; |
****管理部
2024-12-15