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SiC功率器件生产线建设项目

审批

福建-厦门-海沧区

发布时间： 2024年12月31日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0200MA31GA8D5D	陈向东
高艺伟	**门市区
市区兰英路99号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

SiC功率器件生产线建设项目	****

2021版本:080-电子器件制造	C3972-C3972-半导体分立器件制造
	**门市区市区兰英路99号
经度:117.99854 纬度: 24.48199	****环境局
	2022-08-18
厦海环审〔2022〕107号	****0200MA31GA8D5D001Q
2024-06-25	150000
1500	****
****0200MA31GA8D5D	****
****0200MA31GA8D5D	****研究院有限公司
****0205MAD854EM5F	2024-03-20
2024-08-01	2024-10-30
2024-11-21	2024-12-18
	https://www.****.org/yanshou/34824.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

改扩建	改扩建
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

新增生产SiC功率芯片产品，规模为MOSFET芯片28.8万片/年、SBD芯片28.8万片/年，同时减少GaN外延的蓝绿光LED芯片57.6万片/年（其外延产能不变，多余外延片外售），改扩建后全厂总规模不变，仍为672万片（等效2吋），其中蓝绿光芯片302.4万片/年，红光芯片312万片/年，SiC功率芯片57.6万片	新增生产SiC功率芯片产品，规模为MOSFET芯片28.8万片/年、SBD芯片28.8万片/年，同时减少GaN外延的蓝绿光LED芯片57.6万片/年（其外延产能不变，多余外延片外售），改扩建后全厂总规模不变，仍为672万片（等效2吋），其中蓝绿光芯片302.4万片/年，红光芯片312万片/年，SiC功率芯片57.6万片
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

清洗、SiO2淀积、光刻、ICP干法蚀刻、去胶/清洗、干法蚀刻、湿法腐蚀、清洗、氧化、清洗、多晶硅淀积、清洗、SiO2淀积、光刻、ICP干法刻蚀、干法去胶、注入、清洗、退火、光刻、干法去胶、SiO2淀积、光刻、湿法腐蚀、清洗、氧化、多晶硅淀积、注入、光刻、多晶硅刻蚀、退火、SiO2淀积、光刻、干法刻蚀、去胶、光刻、干法刻蚀、去胶、金属溅射、光刻、金属刻蚀、干法去胶、SiO2沉积、光刻、SiO2干法刻蚀、干法去胶、后处理、退火、减薄、金属溅射、退火、金属腐蚀、金属溅射、检测、划片、目检、包装入库	清洗、SiO2淀积、光刻、ICP干法蚀刻、去胶/清洗、干法蚀刻、湿法腐蚀、清洗、氧化、清洗、多晶硅淀积、清洗、SiO2淀积、光刻、ICP干法刻蚀、干法去胶、注入、清洗、退火、光刻、干法去胶、SiO2淀积、光刻、湿法腐蚀、清洗、氧化、多晶硅淀积、注入、光刻、多晶硅刻蚀、退火、SiO2淀积、光刻、干法刻蚀、去胶、光刻、干法刻蚀、去胶、金属溅射、光刻、金属刻蚀、干法去胶、SiO2沉积、光刻、SiO2干法刻蚀、干法去胶、后处理、退火、减薄、金属溅射、退火、金属腐蚀、金属溅射、检测、划片、目检、包装入库
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废水：改扩建项目SiC功率芯片生产线新增生产工艺废水主要包括酸碱废水、含氟废水、有机废水。根据建设单位提供资料，本次改扩建项目SiC功率芯片生产线生产工艺废水排放量约633.6m3/d（其中酸碱废水432m3/d、含氟废水168m3/d、有机废水33.6m3/d）；同时由于减少减少蓝绿光LED芯片生产产能，相应减少蓝绿光LED芯片生产线工艺清洗废水量合计656m3/d，其中减少酸碱清洗废水量404.7m3/d，减少有机清洗废水量56.7m3/d，减少含氟清洗废水量194.6m3/d。故改扩建项目酸碱废水、含氟废水、有机废水依托厂区现有废水站处理达标后，经厂区总排放口进入市政污水管网；废气：改扩建项目SiC生产线生产废气主要包括酸洗、干法刻蚀、湿法腐蚀、去胶、金属刻蚀、金属腐蚀工序产生的酸性废气（硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、氯气、氟化物）、光刻、去胶、后处理工序产生的有机废气（非甲烷总烃）、注入、SiO2、淀积、多晶硅淀积工序产生的工艺废气（硅烷、PH3、氟化物、二氧化硫、氮氧化物）、氨水、双氧水腐蚀、清洗工序产生的碱性废气（氨）、废水站生化处理产生的臭气（氨、硫化氢、臭气浓度），本项目新增SiC生产线废气均依托现有工程的废气治理设施（其中酸性废气增加1套喷淋洗涤塔，并联共用）。项目的生产过程是在密闭的生产区及设备内进行，各生产区在厂房内又独立、分隔。辅助工程均依托现有工程，项目酸性废气（硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、氯气、氟化物）先由排气管道输入废气洗涤塔，吸收液为10%氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液净化酸雾废气，尾气经排气筒排入大气。项目共设有5套酸性废气处理系统，尾气合并后经1根排气筒排放（编号：DA004），排气筒高30m，内径为2000mm，单套系统风机风量55000m3/h（共6套风机，3用3备）。其中磷烷等采用POU处理后（采用等离子体工艺），排入酸性废气处理系统处理后排放，项目工艺废气（硅烷、PH3、氟化物、二氧化硫、氮氧化物，不含砷烷）经设备自带POU处理器（采用等离子体工艺）预处理后，再引入酸性废气处理系统，采用“碱液喷淋塔”处理，项目有机废气（非甲烷总烃）处理依托现有工程，采用“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统，“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统主要由风机、内装沸石的转轮、热交换器和浓缩气体燃烧器等组成。转轮由一组电机带动旋转，通过机械变换，使转速控制在每小时5-6转，整个系统通过吸附—解析—冷却三个过程，周而复始，动态循环。处理后的尾气经1根30m排气筒排放（编号：DA001），内径970mm，单套系统风机风量50000m3/h，项目碱性废气（氨）依托现有工程，采用2套（1用1备）喷淋洗涤塔处理，经处理后废气经1根16m排气筒排放，风机风量1000m3/h，**处理站调节池、有机废水处理系统、污泥池等已采取加盖收集臭气，并配套1套活性炭吸附+碱液喷淋装置除臭，恶臭气体（氨、硫化氢、臭气浓度）经收集处理后经1根25m高的排气筒排放（编号：DA002），风机风量50000m3/h；噪声：运营期噪声主要为设备的运行噪声，采取措施主要有以下：A. 使用低噪声设备，合理布置噪声源，生产设备全部位于密闭洁净车间内中部，通过车间墙体阻挡噪声传播。B. 主要噪声源上安装基础减振垫减振处理，厂房墙体隔声。C.风机安装减震器、风机排气口安装降噪设备，并带有内置降噪插件，安装风机隔音罩等。D.加强管理，避免在非工作时间进行生产，其噪声基本不会对周边环境产生影响。E.加强对所有设备的维护和日常维护管理，维持设备处于良好的运转状态，避免因设备不正常运转而产生的高噪声现象；固体废物：运营期固废主要包括一般工业固废、危险废物和生活垃圾。项目一般工业固废主要是为废纸类、废塑料类等废包装物，新增废纸、废塑料等废包装物暂存于一般工业固废贮存区，交由具有主体**物资部门回收利用，危险废物包括废有机溶剂、废酸液、废BOE蚀刻液、氟化铵腐蚀液等无机含氟废酸液、废显影液、废活性炭、废沸石、废润滑油、化学品废包装物，暂存于危废间，定期委托有资质的单位处理。	废水：改扩建项目SiC功率芯片生产线新增生产工艺废水主要包括酸碱废水、含氟废水、有机废水。根据建设单位提供资料，本次改扩建项目SiC功率芯片生产线生产工艺废水排放量约633.6m3/d（其中酸碱废水432m3/d、含氟废水168m3/d、有机废水33.6m3/d）；同时由于减少减少蓝绿光LED芯片生产产能，相应减少蓝绿光LED芯片生产线工艺清洗废水量合计656m3/d，其中减少酸碱清洗废水量404.7m3/d，减少有机清洗废水量56.7m3/d，减少含氟清洗废水量194.6m3/d。故改扩建项目酸碱废水、含氟废水、有机废水依托厂区现有废水站处理达标后，经厂区总排放口进入市政污水管网；废气：改扩建项目SiC生产线生产废气主要包括酸洗、干法刻蚀、湿法腐蚀、去胶、金属刻蚀、金属腐蚀工序产生的酸性废气（硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、氯气、氟化物）、光刻、去胶、后处理工序产生的有机废气（非甲烷总烃）、注入、SiO2、淀积、多晶硅淀积工序产生的工艺废气（硅烷、PH3、氟化物、二氧化硫、氮氧化物）、氨水、双氧水腐蚀、清洗工序产生的碱性废气（氨）、废水站生化处理产生的臭气（氨、硫化氢、臭气浓度），本项目新增SiC生产线废气均依托现有工程的废气治理设施（其中酸性废气增加1套喷淋洗涤塔，并联共用）。项目的生产过程是在密闭的生产区及设备内进行，各生产区在厂房内又独立、分隔。辅助工程均依托现有工程，项目酸性废气（硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、氯气、氟化物）先由排气管道输入废气洗涤塔，吸收液为10%氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液净化酸雾废气，尾气经排气筒排入大气。项目共设有5套酸性废气处理系统，尾气合并后经1根排气筒排放（编号：DA004），排气筒高30m，内径为2000mm，单套系统风机风量55000m3/h（共6套风机，3用3备）。其中磷烷等采用POU处理后（采用等离子体工艺），排入酸性废气处理系统处理后排放，项目工艺废气（硅烷、PH3、氟化物、二氧化硫、氮氧化物，不含砷烷）经设备自带POU处理器（采用等离子体工艺）预处理后，再引入酸性废气处理系统，采用“碱液喷淋塔”处理，项目有机废气（非甲烷总烃）处理依托现有工程，采用“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统，“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统主要由风机、内装沸石的转轮、热交换器和浓缩气体燃烧器等组成。转轮由一组电机带动旋转，通过机械变换，使转速控制在每小时5-6转，整个系统通过吸附—解析—冷却三个过程，周而复始，动态循环。处理后的尾气经1根30m排气筒排放（编号：DA001），内径970mm，单套系统风机风量50000m3/h，项目碱性废气（氨）依托现有工程，采用2套（1用1备）喷淋洗涤塔处理，经处理后废气经1根16m排气筒排放，风机风量1000m3/h，**处理站调节池、有机废水处理系统、污泥池等已采取加盖收集臭气，并配套1套活性炭吸附+碱液喷淋装置除臭，恶臭气体（氨、硫化氢、臭气浓度）经收集处理后经1根25m高的排气筒排放（编号：DA002），风机风量50000m3/h；噪声：运营期噪声主要为设备的运行噪声，采取措施主要有以下：A. 使用低噪声设备，合理布置噪声源，生产设备全部位于密闭洁净车间内中部，通过车间墙体阻挡噪声传播。B. 主要噪声源上安装基础减振垫减振处理，厂房墙体隔声。C.风机安装减震器、风机排气口安装降噪设备，并带有内置降噪插件，安装风机隔音罩等。D.加强管理，避免在非工作时间进行生产，其噪声基本不会对周边环境产生影响。E.加强对所有设备的维护和日常维护管理，维持设备处于良好的运转状态，避免因设备不正常运转而产生的高噪声现象；固体废物：运营期固废主要包括一般工业固废、危险废物和生活垃圾。项目一般工业固废主要是为废纸类、废塑料类等废包装物，新增废纸、废塑料等废包装物暂存于一般工业固废贮存区，交由具有主体**物资部门回收利用，危险废物包括废有机溶剂、废酸液、废BOE蚀刻液、氟化铵腐蚀液等无机含氟废酸液、废显影液、废活性炭、废沸石、废润滑油、化学品废包装物，暂存于危废间，定期委托有资质的单位处理。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

144.414	144.414	144.414	144.414
72.207	72.207	72.207	72.207
7.2207	7.2207	7.221	7.221
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
0.202	0.202	0.202	0.202	/
6.2097	6.3568	6.21	6.21	/
0	0	0	0	/
1.8103	4.19	1.81	1.81	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

改扩建项目新增废水为酸碱废水、含氟废水、有机废水，依托现有工程废水处理设施处理，****处理站

《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1间接排放标准（2024年1月1日起执行）

改扩建项目新增废水为酸碱废水、含氟废水、有机废水，依托现有工程废水处理设施处理，****处理站

正常

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸性废气：排气管道+废气洗涤塔+合并经1根排气筒排放（编号：DA004）	《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)	酸性废气：排气管道+废气洗涤塔+合并经1根排气筒排放（编号：DA004）	正常
2	工艺废气：设备自带POU处理器（采用等离子体工艺）+酸性废气处理系统	《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)	工艺废气：设备自带POU处理器（采用等离子体工艺）+酸性废气处理系统	正常
3	有机废气依托现有工程，采用“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统，处理后的尾气经1根30m排气筒排放（编号：DA001）	《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)	有机废气依托现有工程，采用“沸石转轮浓缩+焚烧”处理系统，处理后的尾气经1根30m排气筒排放（编号：DA001）	正常
4	碱性废气（氨）依托现有工程，采用2套（1用1备）喷淋洗涤塔处理，经处理后废气经1根16m排气筒排放	《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)	碱性废气（氨）依托现有工程，采用2套（1用1备）喷淋洗涤塔处理，经处理后废气经1根16m排气筒排放	正常
5	污水处理站调节池、有机废水处理系统、污泥池等已采取加盖收集臭气，并配套1套活性炭吸附+碱液喷淋装置除臭，恶臭气体（氨、硫化氢、臭气浓度）经收集处理后经1根25m高的排气筒排放（编号：DA002）	《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）	污水处理站调节池、有机废水处理系统、污泥池等已采取加盖收集臭气，并配套1套活性炭吸附+碱液喷淋装置除臭，恶臭气体（氨、硫化氢、臭气浓度）经收集处理后经1根25m高的排气筒排放（编号：DA002）	正常

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

A. 使用低噪声设备，合理布置噪声源，生产设备全部位于密闭洁净车间内中部，通过车间墙体阻挡噪声传播。B. 主要噪声源上安装基础减振垫减振处理，厂房墙体隔声。C.风机安装减震器、风机排气口安装降噪设备，并带有内置降噪插件，安装风机隔音罩等。D.加强管理，避免在非工作时间进行生产，其噪声基本不会对周边环境产生影响。E.加强对所有设备的维护和日常维护管理，维持设备处于良好的运转状态，避免因设备不正常运转而产生的高噪声现象

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准

隔声罩、减震垫、合理车间布局

正常

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

项目一般工业固废主要是为废纸类、废塑料类等废包装物，新增废纸、废塑料等废包装物暂存于一般工业固废贮存区，交由具有主体****物资部门回收利用，危险废物包括废有机溶剂、废酸液、废BOE蚀刻液、氟化铵腐蚀液等无机含氟废酸液、废显影液、废活性炭、废沸石、废润滑油、化学品废包装物，暂存于危废间，定期委托有资质的单位处理。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程