沈阳化工大学辽宁资源化工与材料协同创新中心平台设备更新项目—组织性能检查系统采购项目（国债项目）招标公告

品目1：超景深显微镜 1台 国产

具体参数如下：

1、分辨率：≤1um。

★2、摄像机：≥1英寸420万像素CMOS（物理像素），总像素≥2,048×2,048，图片拍摄帧率：30fps。

★3、放大倍率≥1000x（以17.5英寸显示器对角线和4:3屏幕比率为参照标准）。

4、光学变倍：变倍系数：10x；变倍范围：0.5x-5x。

5、物镜

★5.1 PlanApo D 1.6x/0.1 工作距离：36mm；

PlanApo D 5.0x/0.3 工作距离：30mm。

★5.2物镜更换：直接插拔，没有线缆，更换后无需校准。

★5.3镜头倍率自动识别，电动连续调节放大倍率。

▲5.4连续变倍，可在任意倍率下2D、3D观察和测量。

★5.5镜头前端适配器：不需要。

5.6观察视野≥40mm。

▲5.7镜头防撞安全保护功能。

6、光源：LED光源。

★7、照明方式：两个镜头均可实现环形照明、同轴照明、混合照明。内置机身同轴光，内置于物镜的环形光，可同轴光、环形光混合，环形光可任意方向组合开关（如全开、开一半、开四个方向）。

★8、电动载物台：尺寸：≥310 x 223 mm，水平方向XY移动行程:≥130 x 100 mm，样品载重:≥4.0Kg。

9、显微镜支架：

9.1自动聚焦。

9.2倾斜角度(编码可识别到0.1°): ±45°。

★9.3可放置样品高度≥120mm。

★9.4 Z轴移动行程(电动)≥60mm。

▲10、一体机电脑配置不低于：21.5寸触屏式液晶显示器。Windows8系统，64位，内存8G，硬盘500G，集成操作系统、软件等。多语言切换，可中文操作系统。多个USB2.0和USB3.0 。

11、软件：

11.1自动聚焦，全电动变倍/镜头倍率编码识别，任意放大倍率均可拍照和测量。

▲11.2快速拍照记录坐标，导航功能（Google地图功能）。

11.3基础尺寸测量。包含两点之间距离、平行线之间距离、点到直线距离、半径、直径、角度、两条直线的夹角、圆心与圆心之间的距离、面积、周长、计数、比例尺等。

▲11.4实时高度测量。

11.5 景深叠加功能（EDF）。可以通过扫描多个不同高度的面，形成一张清晰的照片。

11.6 3D成像和3D测量，包括体积、表面积、3D高度和宽度、两个面之间距离、两个面之间夹角等。三维冷暖色模拟图像，三维网格，照明模拟等。

11.7自动测量。编辑模板自动测量，自动识别图像差异，图像灰度提取。

▲11.8步骤记录并完全可重复，操作步骤可保存到数据库，随时调取再处理图片和测量。

11.9自动生成Word报告功能。

▲11.10实时HDR。

▲11.11全触摸屏操控，也可以鼠标控制系统所有部件（相机、载物台、拍照、测量等）。

12、控制器：

12.1双轮聚焦、放大及载物台控制器

12.2控制软硬件的触摸板

12.3可实现软件快捷操作的触摸板

12.4可分离的键盘

▲13、可以通过硬件和软件的扩展，进行同品牌电子显微镜和光学显微镜的无缝联用，实现样品深度观测功能。

品目2：带冷台离子减薄仪 1台 国产

1、具体参数如下：

1.1 工作电源220/240 V, 50/60 Hz。

★1.2离子源：单支或两支或三支，独立角度可调节的聚焦氩离子源，离子枪无任何耗材。

▲1.3 加速电压范围：0keV - 10 keV，步进0.1keV。每支离子枪能量均独立可调，均满足高电压快速减薄，低电压精细修复。

★1.4 离子束斑尺寸：≥500μm-3mm可连续调节。

1.5 离子束束流密度：≥10 mA/cm2。可选择单个或者两个离子源工作，每个离子源都有独立直接检测电子束流值，感光功能，可以精确调整离子枪对中。

▲1.6 离子枪角度调节范围：≥ -15°- +10°连续可调；离子枪负角度更易满足贴铜环样品的双面减薄。

▲1.7 真空系统：两级真空系统无油机械泵和不低于80L/s涡轮分子泵，达到10-4Pa。

▲1.8 操作系统：触摸屏内嵌式界面，具备配方式自动加工功能，设备设定加工时间、温度和透光性三种自动终止模式。具备事件记录功能，可记录仪器故障信息，为设备后续维修提供精准判断依据。

1.9 样品台：能够水平360度连续旋转，精度1度，转速1~6 rpm可调，可进行任意角度摇摆，减小离子束减薄时带来的窗帘效应。

1.10 配备样品装样器，装载简易设计，能够满足单面/双面减薄均无阴影。

1.11 配备圆片打孔器，可直接制备直径3mm圆片，保证边缘无毛刺。

1.12 具有预换样舱和加工舱两舱设计，换样时间小于1min。

1.13 控制系统：不小于25厘米宽触屏设计，可实现配方编程控制。

★1.14 具备系统自检功能及事件记录器，能够实时诊断设备状态及设备操作记录，最大程度保护设备使用安全。

▲1.15 配备CMOS显微观察系统，可对减薄过程进行实时观察与存储制样过程更流畅。配置不小于24寸显示器，高清放大倍数≥1950倍。

1.16 配备透光光电检测器，样品透光穿孔之后立即停止，可保护薄区不被打掉，同时适合横截面等减薄需求。

▲1.17 配备液氮冷台及控温系统，温度调节范围≥ -170℃-室温连续可调，一次加注可持续制冷≥18小时，去除离子研磨时高温对样品的破坏，冷台具有可程序控制快速加热回温功能。

1.18可升级装配真空转移系统：配合离子减薄仪使用，实现手套箱、离子减薄系统两者之间真空或惰性气体转移样品，全程隔绝水氧。

★2、附件配置

2.1 随机工具一套、取样工具一套；

2.2 插排一套；

2.3 手持液氮罐一个。