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序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-244ZLCP10001/23 | 彩膜不均检查装置 | 5台 | 设备用途及基本要求: 本设备是用于检出基板上的MURA缺陷、测定光学特性(OD、色度、膜厚)的设备。具有利用设备内安装的照明和检查Head,将基板上的MURA拍摄成图像进行检查、测定透过率和反射率的功能。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
**** | 阵列 彩膜长寸法测定装置 | 2台 | 设备用途及基本要求: 本设备是用来对Array和CF基板上的Pattern尺寸、坐标以及线宽进行测定。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244ZLCP10001/25 | 阵列自动线宽测定装置 | 2台 | 设备用途及基本要求: 该设备是用来测定基板上Pattern的线宽和重合精度。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244ZLCP10001/26 | 阵列修正装置 | 11台 | 设备用途及基本要求: 该设备具有从Host(检查Data Server)获得缺陷坐标,Camera自动移动到缺陷坐标位置,Operator能够进行Review和Laser修正的功能。该设备目的是通过切除多余金属配线来修正致命缺陷。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
4197-244ZLCP10001/27 | 阵列配线修正装置 W | 5台 | 设备用途及基本要求: 本设备使用Laser CVD工艺使金属在玻璃基板上成膜、使用Laser修正切断基板上的金属配线,以达到连接中断的金属配线以及切断金属配线。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244ZLCP10001/28 | 阵列配线修正装置 Ag | 4台 | 设备用途及基本要求: 本设备使用Laser INK工艺使金属在玻璃基板上成膜、使用Laser修正切断基板上的金属配线以达到连接中断的金属配线以及切断金属配线的功能。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY3000/USD500 |
4197-244ZLCP10001/29 | 成盒真空贴合装置 | 3台 | 设备用途及基本要求: 该设备用于成盒贴合制程,主要是实现在真空状态下将TFT基板和CF基板以膜面相贴的方式高精度的组立在一起。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
4197-244ZLCP10001/30 | 成盒电浆注入装置 | 3台 | 设备用途及基本要求: 该装置用于电浆注入制程,通过喷嘴吐出方式按设定的坐标,将电浆精确的吐出在基板上。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
4197-244ZLCP10001/31 | 成盒密封胶涂布装置 | 3台 | 设备用途及基本要求: 该装置用于密封胶涂布制程,通过喷嘴吐出方式按设定的坐标,将密封胶精确的涂布于基板上,保证后续制程的TFT基板和CF基板粘接到一起。 要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |