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| 采购类型 | 采购 | ||
| 项目编号 | **** | ||
| 项目名称 | ****材料学院混合集成芯片先导线多功能真空离子镀膜机采购项目 | ||
| 申购主题 | 多功能真空离子镀膜机 | ||
| 项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
| 最高限价 | 999,000.00(人民币) | ||
| 报名及响应开始时间 | 2025-04-15 11:46 | 报名及响应结束时间 | 2025-04-21 09:00 |
| 采购单位 | **** | ||
| 经办人 | 王老师 | 经办人电话 | ****5092 |
| 期望收货时间 | 合同签订后50天交货 | ||
| 是否送货 | 是 | 送货地址 | ********学院工学院1栋B110 |
| 电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
| 备注 | 1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、****学校不收取任何费用， 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding.****.cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。6、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属****委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间****委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。 | ||
| 1 采购设备 | 多功能真空离子镀膜机 |
| 数量 | 1台 |
| 参考品牌 |
| 1 | ★1.此设备为空心阴极、多弧“二合一”多功能真空离子镀膜机，其中，多弧离子镀镀功能分为带磁过滤和不带磁过滤两种。真空室为八角型（大体布局见附件图纸），可制备氧化铟基、氧化锡基、氧化锌基、氧化钛基、氮化钛基、氮氧化钛等化合物功能膜层，以及铜、铝、镍等金属及合金电极等。 | 非常重要 | 是 | 是 |
| 2 | 2. 空心阴极镀膜功能技术参数：（1）电源部分包括：主束电源（100V/200A 1台；）引束电源（600V/10A）1台；集束线圈电源（30V/20A）2台；枪集束电源（20V/15A）1台。（2）电子枪主体部件由耐热金属、钽管、硼化镧组成，安装在腔室侧壁上，电子束旋转90度后垂直打到位于真空室底部的坩埚中用于制备膜层的原材料上，装卡基板的治具位于腔体正上方。（3）靶基距可调。 | 重要 | 否 | 是 |
| 3 | 3. 多弧离子镀功能技术参数：（1）四台弧电源，每台25V×200A，功率5 kW；加备1台200A备用弧电源。（2）四个弧靶中，有两个永磁磁场弧靶； 靶材尺寸 Φ100×16 mm，弧****中心部，分别安装永磁磁场，磁场强度可调整，靶材冷却采用间接方式；另两个为电磁场加永磁场弧靶；靶材尺寸Φ100×25mm，弧源头后端安装电磁线圈，靶材中心部安装永磁磁场，磁场强度可调整，靶材冷却采用直接方式。（3）设置可移动基片位置的装置，以方便调节靶基距。 | 重要 | 否 | 是 |
| 4 | ▲4.有效镀膜范围或样品尺寸不小于210 mm ×210 mm，可兼容硬质衬底和易碎的薄硅片等衬底，样品台能够在水平面内实现 360 度自转，可连续旋转且转速可调≤ 20 rpm。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 5 | ▲5. 基板温控范围：室温至500℃，控温精度±2℃。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 6 | ▲6. 两种功能的靶基距可调范围分别为：空心阴极200-400 mm，多弧180-410 mm，具体可根据实际镀膜调试情况进行调整。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 7 | ★7.镀膜均匀性：空心阴极离子镀，配置膜厚仪，并配置挡板（避免等离子体启辉或薄膜初始沉积阶段对衬底的污染）。选取技术指标1中所述任一化合物薄膜，在膜层厚度5~100 nm下，基板片内镀膜均匀性≤5%；选取技术指标1中所述任一化合物薄膜或电极材料，多弧离子镀（带磁过滤），在膜层厚度50 nm~10 μm下，基板片内镀膜均匀性≤10%。 | 非常重要 | 是 | 是 |
| 8 | 8.工艺腔极限真空度：≤5×10-4 Pa。 | 重要 | 否 | 是 |
| 9 | ▲9.工艺腔本底真空度：≤5×10-3 Pa，从装样（破真空状态）到工艺腔达到本底真空度的等待时间≤15 min。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 10 | 10.腔体氦检漏率：≤5×10-10 Pa.m3/s。 | 重要 | 否 | 是 |
| 11 | 11. 腔体漏气率：＜3×10-1 Pa/小时，停泵24小时后，腔室压力＜5 Pa。 | 非常重要 | 否 | 是 |
| 12 | 12.工艺气体为氩气、氧气、氮气、氢气4路，另预留2个气源接口作为后续其他工艺气体接入，连接到混气罐上，各气路配备独立的流量计搭配手动进气阀和自动进气阀，流量计可PID控制，配合阀门实现自动工艺压力控制；配备匀气装置，保证反应气体均匀稳定。气体质量流量计最小精度≤1 sccm，量程分别为：氩气500 sccm、氧气200 sccm、氮气200 sccm、氢气100 sccm，预留气路200 sccm。 | 重要 | 否 | 是 |
| 13 | 13.偏压范围：低档0-300 V；高档0-800 V； | 重要 | 否 | 否 |
| 14 | 14. 脉冲偏压电源功率10 kW。（频率40 kHz，占空比0-80%，低档500 V，高档1000 V） | 重要 | 否 | 否 |
| 15 | 15.整机冷却通过水冷式冷水机进行冷却，冷水机功率15P，冷却效果良好，不会对环境温度产生影响。 | 重要 | 否 | 否 |
| 16 | 16.每种镀膜功能都有合适的外观察窗，可观察等离子体环境和衬底上的镀膜状态，观察窗配手动挡板。 | 重要 | 否 | 否 |
| 17 | 17. 工艺过程由触摸屏和计算机一体式＋PLC全自动控制，直接在触摸屏上操作；操作人员可自定义编辑沉积流程菜单，并方便调取和导入机台控制系统。 | 重要 | 否 | 否 |
| 18 | 18. 腔体为耐腐蚀材质。 | 重要 | 否 | 是 |
| 19 | 19.软件及其功能 ①提供控制机以及各种与仪器连接的接口等硬件设备； ②提供自动化操作软件，具有自动化控制功能； ③主机自动化控制软件具有调用并控制分机沉积工艺程序功能； ④能自动化地控制温度，包括加热器温度的监测、设定及升降温速率控制； ⑤能自动化地控制样品台旋转的方向和转速； ⑥能自动化地进行参数记录，包括实时记录系统的各项参数如真空度、温度、气体流量等； ⑦能设置急停设备，以防止出现特殊情况； 软件预留手动操作模式 | 重要 | 否 | 是 |
| 20 | 20.配置清单 ①真空室1个；（水带式水冷，含两层内衬板，20kW加热器） ②真空机组：螺杆式干式泵1台；罗茨泵1台；磁悬浮分子泵1台；插板阀1个；粉尘过滤器1套；前级阀1个；预抽阀1个；放气阀1个；管道1套 ③炉体支架1套；（80*80*5方钢+100槽钢+冷轧碳钢板焊接组成，炉体支架、气管、水管、电线、电缆桥架一体完成，表面喷塑防腐） ④工件公自转系统1套，附带可用于试验的夹具或载板； ⑤真空测量系统1套，配电离规、热偶规、隔膜规； ⑥水冷控制系统1套； ⑦反应气体气动控制系统1套； ⑧匀气装置1套； ⑨电源：弧电源4台＋备用弧电源1台；脉冲偏压电源1台。电源柜体配置断电支持系统（UPS） ⑩治具1套； ⑾整机控制系统1套； ⑿HCD电子枪及磁偏转和聚焦系统1套； ⒀供电系统1套； ⒁随机配件1套；包含密封圈，油封，轴承，专用工具，随机技术文件等。 ⒂膜厚仪1套。 | 重要 | 否 | 是 |
| 1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
| 2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章） | 是 |
| 3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章） | 是 |
| 4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章） | 是 |
| 1 | 免费保修年限 | 2年 3年 4年 5年及以上 | 是 |
| 2 | 合同履约 | ****学校合同范本执行 下载地址：http://www.****.com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意： （1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用； （2）本项目签署《****国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。 | 否 |
| 3 | 产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”） | 厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟） 厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年） 其他授权销售方式 | 是 |
| 4 | 售后服务要求 | 整机保修，包括但不限于空心阴极电源、多弧电源、真空系统、控制系统、镀膜腔体等核心部件，以及保修所需零配件、易损件及软件等。 ①响应时间：维修响应时间≤12小时，到现场维修时间≤48小时； ②软件终身免费维护及升级； ③每年对设备进行一次全面的检查、维护及设备校准，确保设备始终处于最佳工作状态； ④长期供应设备所需的原厂零配件，确保在设备使用寿命内能及时获得所需零配件，且价格公开透明合理。 | 是 |
| 5 | 培训要求 | ①用户现场免费安装、调试，现场培训不少于2人次，以达到独立操作为标准； ②供应商提供中国境内的免费厂家培训，不少于1人次； 提供长期的技术支持服务，可随时通过电话、邮件或在线客服联系技术支持团队，获得专业的技术咨询和指导。 | 是 |
| 6 | 关于税率 | ★1、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属****委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间****委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。 | 是 |
