位置>千里马招标网> 招标中心> 南京邮电大学 - 竞价公告(CB102932022000020)
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**** | YB600探针台测试系统采购 | **** | 国产含税 | 增值税专用发票 | 人民币 | 货到验收合格后付款 | 对象名称:YB600探针台测试系统一套 技术及参数要求: 1、显微镜系统 1.1显微镜支架,可以X/Y轴线性移动;移动范围:25mm×25mm,设计扩展其它仪表整合显微镜一体化。 1.2 ★显微镜:工作距离≥80 mm;分辨率:4微米,变焦距物镜,变倍范围0.67x - 4.5x; 1.3 包含HDMI高清CCD。 1.4 包含同轴LED灯光源照明。 1.5具备显微镜桥接口,可以自行更换、升级显微镜。 2、电学测试台主机 2.1 样品台(Chuck):可装载包括6英寸以内样品;样品真空吸附,并且吸附区域可选择,具备刻度环;平整度<10μm。 2.2★ 样品台可微调角度±5°。 2.3 X/Y快速平台移动范围≥150mm×150mm 2.4可方便、无风险样品装载。 2.5 最多可容纳10组DC直流针座和4组RF射频针座。 3、探针座 3.1★配备6只磁性吸附的直流探针座。2只高精度分辨率0.7 μ m,4只低精度3微米。 3.2 配置7根直流针杆带三同轴接头 4、直流探针 4.1★直流探针满足0~50mHz的测试频率范围,直流探针漏电流<100fA。配置2盒直流钨针,2盒铍铜探针。 5、减震系统 5.1 系统需配置完全兼容的减震平台进行放置,保证测试精度,固有频率1.2 ~ 2.0 Hz 隔振方式 , 双腔室空气弹簧,隔振来源,阻尼孔 ,水平维持方式,高精度阀门自动维持水平。 交付地点:电光学科A楼538室 验收标准:符合上述参数指标 | 免费上门安装(含材料费) | 电光学科**** |
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