序号

项目名称

建设地点

建设单位

环境影响评价机构

项目概况

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

公众参与情况

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****年产磷化铟单晶锭1000个、磷化铟单晶晶圆3万片**项目

珠江路900号5号楼101-1

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**远洲****公司

本项目主要生产磷化铟单晶锭、晶圆片，其中生产磷化铟单晶锭1000个/a，均为4寸规格。根据不同客户需求，预计其中500个晶锭直接作为产品售卖，另500个晶锭再进行线切割、滚圆制得各尺寸的毛片，其中4寸、3寸、2寸规格的各1万片/a，后委外进行抛光等处理后得到晶圆片共计约3万片/a。

雨污分流，无生产废水排放，生活污水及纯水制备系统浓水排入市政管网，外排废水量207t/a；酸碱清洗槽上方均采用集气罩收集（三面设置软帘），开管过程产生的少量酸性气体采用车间整体负压收集，收集效率为95%，合并至1套碱喷淋塔处理达标后经1根15m高排气筒（DA001）排放，有机（乙醇、丙酮、醋酸）清洗槽上方及线切割机上方均采用集气罩收集（三面设置软帘），收集效率可达95%，收集后进入1套二级活性炭装置吸附处理达标后经1根15m高排气筒（DA002）排放。