高真空电子束复合热蒸发镀膜机（GY202205155）采购公告

位置>千里马招标网> 招标中心> 高真空电子束复合热蒸发镀膜机（GY202205155）采购公告

高真空电子束复合热蒸发镀膜机（GY202205155）采购公告

山东-青岛-青岛市状态：公告

加入收藏

打印

导出为

更新时间:

2022年10月13日

招标单位:

立即查看

截止时间:

立即查看

招标编号:

立即查看

项目名称:

立即查看

代理机构:

立即查看

关键信息:

蒸发镀膜机

招标文件:

立即查看

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员用户开放，【注册/登录】后可查看内容详情

您尚未开通该权限！

咨询客服：400-688-2000，掌握更多商机线索！

高真空电子束复合热蒸发镀膜机（****）采购公告

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高真空电子束复合热蒸发镀膜机	****
2022-10-13 15:02:42	2022-10-18 16:00:00
****	100%预付
中标后在我参与的项目中查看	中标后在我参与的项目中查看
成交后90个工作日内	签订合同后90个工作日内
￥ 490000.00 + NaN + NaN
增值税普通发票增值税专用发票



大学校区N5楼
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单 1

采购商品采购数量计量单位所属分类

高真空电子束复合热蒸发镀膜机

台

机电设备无无

品牌品牌1 型号品牌2 型号品牌3 型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

微纳真空

VZZS-550

￥ 490000.00

主要技术参数：1) 真空腔室：Φ550×H630mm； 2) ★真空极限：优于 3.0×10-5Pa； 3) ★抽速：分子泵完全启动，抽至 5.0×10 4) 基片台：标配平板抽屉式基片台，尺寸：可装卡各规格的基片；基片台加热：室温～ 5) 蒸发源及电源：e 型电子枪一台，枪功率 2 组蒸发源，可蒸镀金属材料和有机材料； 6) 膜厚监控：采用薄膜沉积控制仪在线监 7) 离子源辅助沉积：采用考夫曼离子源清洗基片及辅助镀膜； 8) 控制方式：PLC 手自动控制，触摸屏操作；
技术指标：
1、真空腔室：SUS304 不锈钢，Φ550×H630mm，双层水冷，立式前开门结构；真空室内表面及防污板抛光至镜面；
2、真空系统：复合分子泵（抽速：1600 L/s）+直联旋片泵（抽速 14 L/s）； “两低一高”数显复合真空计（测量范围：1×105 Pa～1×10-5Pa）；
3、真空极限：优于 3.0×10-5Pa；
4、抽速：抽至 5.0×10-4Pa≤30min（分子泵完全启动）；
5、基片台：标配：平板式基片台抽屉式结构，基片托尺寸：150×150mm，该范围内可装卡各种规格的基片；样品台配有挡板，磁流体密封；样品台旋转：旋转速度 0-25 转/分连续可调，磁流体密封，光控定位，设定在前门中心位置方便取样；基片台加热：采用真空专用加热器，PID 智能温控表，室温～300℃；
6、电子束蒸发源及电源：e 型电子枪一支，枪功率 8KW；束偏转角 270 度；配置一套偏转扫描电源，一套电子枪灯丝电源；
7、热蒸发源及电源：2 组蒸发源，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计，源间有隔板，源上有挡板； 1 台 2KW 蒸发电源，可采用恒流/恒功率控制，可以预设工作电流；
8、离子源：采用考夫曼离子源清洗基片及辅助镀膜；
9、速率和膜厚控制系统：采用 Inficon 薄膜沉积控制器在线监测、控制蒸镀速率和膜厚，1 只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±0.015ā/s，厚度显示分辨率±0.015kā；
10、控制方式：PLC+触摸屏手自一体控制；
报警及保护：对分子泵、膜厚仪探头、蒸发电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的程序互锁、完备的防误操作设计及保护；

服务网点:不限;质保期限:2年;响应期限:报修后4小时;

注册会员享贴心服务

项目查询服务

·让您全面及时掌握全国各省市拟建、报批、立项、施工在建项目的项目信息

·帮您跟对合适的项目、找对准确的负责人，全面掌握各项目的业主单位、设计院、总包单位、施工企业的项目经理、项目负责人的详细联系方式

·帮您第一时间获得全国项目业主、招标代理公司和政府采购中心发布的招标、中标项目信息

项目定制服务

·根据您的关注重点定制项目，从海量的项目中筛选出符合您的要求和标准的工程并及时找出关键负责人和联系方式

·根据您的需要，向您指定的手机、电子邮箱及时反馈项目进展情况