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2022年11月26日 10:55
氩离子抛光系统 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | **** |
采购项目名称: | 氩离子抛光系统 |
预算金额: | 120.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****0699其他试验仪器及装置 |
采购需求概况 : | 拟采购氩离子抛光系统一台,主要技术参数: 1、离子源:两束独立可调节的全电磁线圈聚焦氩离子源,无永磁体,离子枪无任何耗材; 2、加速电压范围:100 eV 到 10 keV,满足高电压快速抛光,低电压精细修复; 3、束斑尺寸:300μm到5mm,可连续调节,大束斑实现大面积抛光,小束斑尺寸实现快速加工; 4、离子束束流密度:≥ 10 mA/cm2。可选择单个或者两个离子源工作,每个离子源都有独立法拉第杯直接检测电子束流值; 5、配备液氮冷台及控温系统,温度调节范围-170℃~室温连续可调,一次加注可持续制冷18小时以上,去除离子切割时高温对样品的破坏; 6、抛光速率:500μm/Hr(Si@10keV); 7、 配备不少于2个横截面切割样品台和2个平抛抛光样品台,实现高通量制样; |
预计采购时间: | 2022-12 |
备注: |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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