LIFT PIN **** 件 4 Screw,Sockethead,8-32 3/8~,Vented SST 3690-01458 个 20 nex nut 3500-01132 个 4 螺钉 3690-01728 件 4 SHOE REAR 6" 0020-09861 个 1 真空传感器 打标机 个 1 电机定位销 715-011147-006 个 1 传动齿轮 765-007786-001 个 1 射频电机 853-011142-001 件 1 轴 765-008372-001 件 1 终点视窗（Window, QTZ, Headed Endpoint） 716-330355-001 个 1 水阻计 EC430/8-222/5 个 1 热偶 PT100 个 5 热电偶 J型 个 5 离子规 3310-01081 件 1 陶瓷手臂LOAD ARM 4B001-229 个 1 陶瓷手臂C/S ARM 1310-290833-13(6”) 件 1 OP2600轨迹球 18-010038 个 1 扫描电机丝杠 ****170 件 1 BEARING ****273 件 1 I/O PCB ****081 件 1 INPUT PCB ****101 件 1 large face（6寸） 0030-09050 个 2 shoe front 0020-42197 个 1 oxide基座（6寸） 0010-09973 个 1 PFA手自一体阀 3/4 个 2 步进电机 0090-02953 件 1 同步带 20TB 米 15 热电偶（以旧换新） 118223-001 个 2 热电偶（以旧换新） 01-415-228-2 个 1 热电偶（以旧换新） 142793-001 个 2 sus below 0015-09055 个 1 lift below 0015-09056 个 1 放电腔固定杆 ****080 件 60 卤素灯 12V 50W 件 20 红外线灯管--****99812 ****99812 件 30 加热灯罩玻璃 ****40859 个 20 i-line filter 块 1 第一反射镜 块 1 input lens 块 1 冷却液 FC-3283 瓶 1 O型圈（227.97*5.33） ****00837 件 10 电机 GMT9413E666 件 2 o-ring 2-373 （SI-70） 件 18 O-ring 2-447 （SI-70） 件 30 抑制极绝缘子 17B7767 个 10 灯丝 ****850(H0007) 件 50 抑制极绝缘柱 ****132 件 50 石英桶 716-021717-002（716-160255-002） 件 12