反射式显微膜厚测量仪（XF-WSBX-2300405）采购公告

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反射式显微膜厚测量仪（XF-WSBX-2300405）采购公告

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更新时间:

2023年09月27日

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关键信息:

膜厚测量仪

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

反射式显微膜厚测量仪	****
2023-09-27 16:26:58	2023-10-04 18:00:00
****	货到付款，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总额

	成交后30个工作日内
￥350000.00




省市****港校区**研究中心超净室
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

反射式显微膜厚测量仪

台

光电测量仪器

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

Filmetrics

F40-UV

￥ 350000.00

1、设备品牌：Filmetrics设备型号：F40-UV 2、主要用途：采用无损非接触式光学测量，测量薄膜厚度，辅助测量其光学常数（n和k值）；测量分析纳米级薄膜膜层情况，改进镀膜工艺，监测膜层质量。 3、配置清单：3.1、膜厚测量仪主体3.2、15×紫外可见红外反射式镜头3.3、UVX全波长显微镜（SS-Microscope-UVX-1） 4、详细技术要求：4.1、仪器类别：反射式光谱测量（90°角）4.2、测量氧化硅厚度测量范围：4nm-30um4.3、测量n和k值最小厚度要求：50nm4.4、＊波长范围：190-1100nm4.5、光纤通光波长：190-2200nm4.6、准确度（较大者）：1nm或0.2%（针对附带氧化硅厚度标准片）4.7、精度：0.02nm（针对附带氧化硅厚度标准片）4.8、稳定性：0.05nm（针对附带氧化硅厚度标准片）4.9、＊标准厚度片：配置厚度约10000A的氧化硅厚度标准片，带聚焦和硅反射率参考测试区域。4.10、镜头：配置15X紫外可见红外均透的反射式镜头。4.11、＊光斑尺寸：17um4.12、光源及寿命:外置氘灯（2000小时）和钨卤灯（1200小时）4.13、离线分析软件：可授权离线分析模拟软件（不需要连接主机）4.14、＊厚度拟合算法：至少拥有Exact，Robust和FFT三种厚度拟合算法4.15、色坐标测量:可实现光谱CIE-L*a*b* 色坐标测量4.16、文件导出格式:CSV,fibhi,mls4.17、材料库：拥有不小于100种不同材料的数据库，可自由导入新材料文件。4.18、原始信号：可实时显示光强原始信息，用于信号聚焦。4.19、反射率模拟：可进行不同镀膜材料的建模，模拟镀膜膜系的反射率曲线。

电话支持:7x24小时;质保期:1年;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

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